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张文亮
作品数:
25
被引量:11
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
朱阳军
江苏物联网研究发展中心
谈景飞
中国科学院微电子研究所
王波
中国科学院微电子研究所
褚为利
中国科学院微电子研究所
田晓丽
中国科学院微电子研究所
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机构
25篇
中国科学院微...
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江苏中科君芯...
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上海联星电子...
6篇
江苏物联网研...
作者
25篇
张文亮
8篇
朱阳军
5篇
褚为利
5篇
王波
5篇
谈景飞
3篇
田晓丽
2篇
卢烁今
2篇
赵佳
2篇
吴振兴
2篇
陈宏
1篇
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传媒
1篇
半导体技术
年份
1篇
2020
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2018
2篇
2017
1篇
2016
3篇
2015
11篇
2014
3篇
2013
1篇
2012
共
25
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PIN超结结构
本发明公开了一种PIN超结结构,包括:N型柱、P型柱、发射极、基区、发射极金属层、缓冲层、集电极、集电极金属层及本征区;所述N型柱依次通过缓冲层、集电极与集电极金属层连接;所述P型柱与所述基区连接;所述发射极金属层分别与...
张文亮
朱阳军
卢烁今
胡爱斌
文献传递
逆导型IGBT的集电极结构及其制备方法
本发明公开了一种逆导型IGBT的集电极结构,包括:基区、N<Sup>‑</Sup>锗缺陷层、P<Sup>+</Sup>锗集电极区、N<Sup>+</Sup>锗短路区及集电极金属层;所述N<Sup>‑</Sup>锗缺陷层设...
张文亮
胡爱斌
朱阳军
陆江
文献传递
逆导型IGBT的制备方法
本发明公开了一种逆导型IGBT的制备方法,包括:在衬底上表面制备薄膜层;在制备薄膜层的衬底上表面外延第一导电类型的漂移区;在所述第一导电类型的漂移区上制备芯片的正面结构;将制备正面结构的芯片的背面减薄后金属化形成集电极金...
张文亮
田晓丽
朱阳军
吴振兴
文献传递
PIN超结结构
本发明公开了一种PIN超结结构,包括:N型柱、P型柱、发射极、基区、发射极金属层、缓冲层、集电极、集电极金属层及本征区;所述N型柱依次通过缓冲层、集电极与集电极金属层连接;所述P型柱与所述基区连接;所述发射极金属层分别与...
张文亮
朱阳军
卢烁今
胡爱斌
文献传递
IGBT器件及其制作方法
本发明实施例公开了一种IGBT器件,包括:衬底和位于衬底正面的栅极结构和源极结构,位于所述衬底背面的集电极结构和调整栅结构,其中,所述集电极结构和调整栅结构在所述衬底背面相间分布,且二者之间绝缘。在器件的开关状态下,调整...
谈景飞
朱阳军
王波
张文亮
褚为利
文献传递
逆导型IGBT的集电极结构及其制备方法
本发明公开了一种逆导型IGBT的集电极结构,包括:基区、N<Sup>-</Sup>锗缺陷层、P<Sup>+</Sup>锗集电极区、N<Sup>+</Sup>锗短路区及集电极金属层;所述N<Sup>-</Sup>锗缺陷层设...
张文亮
胡爱斌
朱阳军
陆江
文献传递
一种沟槽型的绝缘栅双极性晶体管及其制备方法
本发明公开了一种沟槽型的绝缘栅双极性晶体管及其制备方法,属于半导体技术领域。该绝缘栅双极性晶体管包括集电极、发射极、P-基区、N+缓冲侧、N-漂移区和栅极,栅极在沟槽内,栅极与N-漂移区、P-基区和发射极通过绝缘层电学隔...
张文亮
朱阳军
卢烁今
赵佳
田晓丽
吴振兴
文献传递
一种高度电荷平衡超结器件的制作方法
本发明涉及一种高度电荷平衡超结器件的制作方法,属于半导体器件的制备方法,制备超结器件,将超结器件的一端与测试设备相连,测试设备检测超结器件中p柱区的电荷量和n柱区中的电荷量,根据超结器件中p柱区的电荷量和n柱区中的电荷量...
张文亮
朱阳军
王波
褚为利
谈景飞
陈宏
文献传递
逆导型IGBT发展概述
被引量:11
2012年
逆导型绝缘栅双极型晶体管是一种新型的IGBT器件,它是将IGBT元胞结构以及快恢复二极管(FRD)元胞结构集成在同一个芯片上。逆导型IGBT器件具有小尺寸、高功率密度、低成本、高可靠性等诸多优点,但是逆导型IGBT的电压回跳现象限制了它在实际中的应用。研究了逆导型IGBT器件的结构原理以及回跳现象产生的原因,介绍了引导区结构和背面版图正交布局两种有效抑制回跳现象的方法。通过合理的设计,逆导型IGBT基本上克服了传统的特性缺陷,这将使逆导型IGBT在未来有更为广阔的应用前景。
张文亮
田晓丽
谈景飞
朱阳军
关键词:
绝缘栅双极型晶体管
引导区
一种逆导型IGBT的背面版图布局
本实用新型公开了一种能够同时消除短路集电极型逆导IGBT产生的初次回跳和二次回跳的逆导型IGBT的背面版图布局,属于半导体器件技术领域。该背面版图布局,包括P<Sup>+</Sup>集电区、N<Sup>+</Sup>短路...
张文亮
田晓丽
朱阳军
卢烁今
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