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刘广民

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：电子科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇引线
  • 3篇引线键合
  • 3篇应变计
  • 3篇应力
  • 3篇接触应力
  • 3篇键合
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇压应力
  • 2篇应力传感
  • 2篇应力传感器
  • 2篇力传感器
  • 2篇传输线
  • 1篇粘结
  • 1篇声表面波
  • 1篇声表面波谐振...
  • 1篇狭缝
  • 1篇谐振器
  • 1篇拉应力

机构

  • 4篇电子科技大学
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 4篇丁杰雄
  • 4篇李海宁
  • 4篇刘广民
  • 4篇姜忠
  • 3篇何建国
  • 3篇邓梦
  • 3篇边志远
  • 3篇赵旭东
  • 3篇付振华
  • 1篇付陆元

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
接触应力传感器
本实用新型公开了一种接触应力传感器，包括设有若干通孔的柔性支撑基底、应变计、柔性传输线和柔性介质，其中，柔性支撑底座位于最下方，应变计与柔性传输线通过引线键合连接为一个整体后粘结于柔性支撑底座的上表面，柔性介质覆盖并粘结...
丁杰雄边志远褚博文赵旭东刘广民何建国邓梦付振华李海宁姜忠关利超
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接触应力传感器
本发明公开了一种接触应力传感器，包括设有若干通孔的柔性支撑基底、应变计、柔性传输线和柔性介质，其中，柔性支撑底座位于最下方，应变计与柔性传输线通过引线键合连接为一个整体后粘结于柔性支撑底座的上表面，柔性介质覆盖并粘结于应...
丁杰雄边志远褚博文赵旭东刘广民何建国邓梦付振华李海宁姜忠关利超
文献传递
接触应力传感器
本发明公开了一种接触应力传感器，包括设有若干通孔的柔性支撑基底、应变计、柔性传输线和柔性介质，其中，柔性支撑底座位于最下方，应变计与柔性传输线通过引线键合连接为一个整体后粘结于柔性支撑底座的上表面，柔性介质覆盖并粘结于应...
丁杰雄边志远褚博文赵旭东刘广民何建国邓梦付振华李海宁姜忠关利超
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基于SAW器件的狭缝间作用力监测传感器被引量：1
2014年
为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力,研究设计了一种基于单端声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器的接触应力传感器并研究了其制作工艺。首先,围绕曲面狭缝环境,讨论了作用力测量的传感技术方案,并针对不同的力敏结构在COMSOL Multiphysics软件下进行了应力仿真,进而确定了声表面波谐振器和支撑基底的尺寸参数;其次,结合MEMS工艺对单端SAW谐振器的制作工艺进行了研究,并针对狭缝环境提出一种新型SAW器件封装方式。通过对声表面波传感器设计与制作过程的探究,验证了利用声表面波进行狭缝空间应力测量的可行性。
李海宁丁杰雄姜忠付陆元刘广民
关键词：声表面波谐振器MEMS工艺封装方式
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