秦国双
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：深圳市基础研究计划项目哈尔滨工业大学科研创新基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信更多>>
- 氧化铪为过渡层生长蓝宝石红外窗口增透保护膜的研究
- 蓝宝石晶体是中波红外探测窗口的常见候选材料之一，但其透过率还不能完全满足未来高精度成像的发展趋势，且其表面疏水性能较差，这在一定程度上限制了蓝宝石红外窗口的应用。二氧化硅（SiO2）是蓝宝石中波红外波段增透保护膜的优选材...
- 秦国双
- 关键词：红外窗口蓝宝石HFO2薄膜增透膜
- 文献传递
- 高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备
- 2013年
- 首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜;最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应。在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究。SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24 h后,其图形形貌没有发生明显改变;在温度低于1200℃的高温热处理1 h后,图形仍然存在。HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24 h后再在1000℃高温热处理1 h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜;并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高。本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备。
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- 关键词：蓝宝石图形衬底电子束光刻发光二极管
