刘瑞
- 作品数：36 被引量：79H指数：6
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术机械工程电子电信更多>>
- MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟被引量：10
- 2008年
- 利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响。根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及辅助极距离和大小对于微结构层厚度均匀性的影响。模拟和试验结果均表明,微结构单元尺寸是影响其均匀性的主要因素之一,合理添加片内辅助极是提高微结构铸层厚度均匀性的有效方法。而且,有限元分析软件ANSYS可以对微结构的电镀过程进行有效的模拟分析。
- 汤俊汪红刘瑞毛胜平李雪萍王志民丁桂甫
- 关键词：微电铸MEMS有限元
- 汽车用钢板纳米晶镀锌层在氯化钠溶液中的腐蚀机理被引量：1
- 2011年
- 将汽车用钢板置于碱性镀锌液中电镀，制备了纳米晶镀锌层。采用场发射扫描电子显微镜（FE—SEM）观察镀锌层在3．5％NaCl溶液中腐蚀前后的表面形貌，以能谱仪（EDS）研究腐蚀产物组成，运用塔菲尔（Tafel）曲线和电化学阻抗谱（EIS）考察纳米晶镀锌层的电化学腐蚀行为。结果表明，镀锌层由直径为80～100nm的针状结构的纳米晶组成；在3．5％NaCl溶液中，经24h和48h腐蚀后，腐蚀电流密度明显增大：经过48h腐蚀后，有腐蚀团聚物出现；随着腐蚀时间的延长，腐蚀产物的电阻减小而电容增大。
- 苏永其刘瑞姚锦元汪红蒋为桥丁桂甫
- 关键词：镀锌钢板腐蚀电流密度电化学阻抗谱
- 基于非硅衬底的微机电系统惯性开关的研制被引量：11
- 2009年
- 以非硅表面微加工技术为基础,在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统(Microelectro-mechanical system,MEMS)惯性电学开关。该设计采用连体蛇形弹簧将可动电极(质量块)悬空固定,用挡块作为反向冲击保护,其敏感方向为平行于衬底面的水平方向,整个器件使用成本较低而又方便的叠层电镀镍工艺制作。通过对弹簧-质量块系统运动过程的理论分析和有限元仿真,研究器件阈值加速度与其质量块厚度的关系,并用落锤试验对封装器件的阈值加速度以及峰值为100g(g=9.8m/s2)半正弦冲击下的响应进行了测试,得到该微开关的阈值加速度分布在58g～72g,基本符合预期设计的60g阈值加速度要求,响应时间约为10–4s量级,与有限元仿真结果吻合较好。
- 蔡豪刚杨卓青丁桂甫刘瑞
- 关键词：惯性开关微机电系统仿真
- 一种离子敏传感器及其制作方法
- 本发明涉及一种离子敏传感器，包括上下层叠氧化硅层和硅衬底；间隔设置于所述氧化硅层上的源极、漏极；以及设置于所述源极、漏极之间的氧化硅层表面的石墨烯层，所述石墨烯层分别与所述源极插齿部、漏极插齿部连接；所述石墨烯层表层渗透...
- 张珽于薇李光辉刘瑞沈方平其他发明人请求不公开姓名
- 文献传递
- MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究被引量：2
- 2009年
- 研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条件下,其杨氏模量约为100.4 GPa,抗拉强度为1.96 GPa,应变约为3.6%。
- 刘瑞汪红汤俊毛胜平陈辉丁桂甫
- 关键词：微机电系统电沉积
- 碳纳米管或石墨烯超薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种碳纳米管或石墨烯超薄膜的制备方法，该方法为：对碳纳米管或石墨烯材料分散液进行抽滤处理，令碳纳米管或石墨烯材料在滤膜上形成薄膜，至少将薄膜的表层与滤膜剥离，制得厚度在100nm以下的碳纳米管或石墨烯超薄膜。本...
- 张珽王学文刘瑞丁海燕费跃
- 柔性拉力传感器
- 本申请公开了一种柔性拉力传感器，用以检测第一方向的拉力，包括柔性衬底以及形成于所述柔性衬底上的检测电路，所述检测电路呈惠斯通电桥状，包括沿第一方向延伸的第一电桥和第二电桥、以及平行设置的第三电桥和第四电桥，所述第一电桥和...
- 张珽谷文刘瑞
- 文献传递
- 单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成被引量：7
- 2010年
- 为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成,以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后,应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明,该系统能够精确测试试样应变,精度达到0.01μm,拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。
- 汪红汤俊刘瑞陈晖丁桂甫
- 关键词：微机电系统有限元模拟UV-LIGA杨氏模量镍
- 生物传感器、生物传感器的制作方法及其检测方法
- 本发明公开了一种生物传感器及其制作方法和检测方法，该生物传感器具有场效应晶体管的结构，包括柔性衬底，在所述的柔性衬底上设有打印的银源漏电极，以及连接源漏电极的打印的功能化纳米碳材料层。在功能化纳米碳材料层上连接有特异性受...
- 张珽于薇蔡培杰刘瑞
- 一种微型电容式力学传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种微型电容式力学传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该微型电容式力学传感器包括衬底、导电支撑柱、固定电极、固态介电层、可动电极和弹性导电支撑结构。固定电极和导电支撑柱固置于衬底上，固态介电层设置于固定电...
- 张珽刘瑞
- 文献传递
