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王宇哲

作品数：20 被引量：17H指数：2
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术医药卫生更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇专利
  • 3篇学位论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 8篇金属
  • 5篇电极
  • 5篇金属电极
  • 5篇互连
  • 5篇封装
  • 3篇电镀
  • 3篇电迁移
  • 3篇探针
  • 3篇探针检测
  • 3篇通孔
  • 3篇金属互连
  • 3篇金属互连线
  • 3篇互连线
  • 3篇键合
  • 3篇光学显微镜
  • 3篇硅片
  • 3篇非接触
  • 3篇非接触式
  • 3篇硅
  • 3篇MEMS

机构

  • 20篇华中科技大学

作者

  • 20篇王宇哲
  • 17篇汪学方
  • 16篇刘胜
  • 13篇徐明海
  • 9篇徐春林
  • 9篇胡畅
  • 7篇吕植成
  • 5篇袁娇娇
  • 2篇师帅
  • 1篇张卓
  • 1篇王志勇
  • 1篇胡畅
  • 1篇张卓
  • 1篇刘川
  • 1篇徐春林

传媒

  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇电子与封装

年份

  • 3篇2013
  • 14篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2001
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
硅晶圆微盲孔金属填充装置
本实用新型公开了一种硅晶圆微盲孔金属填充装置，包括孔板和真空回流装置；所述孔板置于硅晶圆的表面的孔板，孔板上加工有多个用于填充金属小球的小孔，小孔与硅晶圆的微盲孔位置一一对应；所述真空回流装置用于在真空环境下熔化金属小球...
刘胜汪学方吕植成袁娇娇徐明海师帅王宇哲
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MEMS圆片级真空封装的工艺研究
王宇哲
关键词：微机电系统微加工工艺圆片级封装真空封装键合
硅晶圆微盲孔金属填充方法及装置
本发明公开了一种硅晶圆微盲孔金属填充方法，将加工有多个小孔的孔板置于硅晶圆的表面，孔板上的小孔与硅晶圆的微盲孔位置一一对应；将多个金属小球洒在孔板上，并用毛刷扫动使得孔板的每一个小孔内有一个金属小球，清除孔板上多余的金属...
刘胜汪学方吕植成袁娇娇徐明海师帅王宇哲
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脱唾液酸糖蛋白受体介导的鸡贫血病毒VP3基因靶向性治疗肝癌的研究
该文首先构建了含CAV的功能性基因VP3及其部分调控序列的真核表达载体pcDNA-vp3.在此基础上,通过阳离子脂质转染试剂LipofectAMINE<'TM>介导的基因转移,在体外将pcDNA-vp3导入多种人源性或鼠...
王宇哲
关键词：肝癌鸡贫血病毒VP3基因基因转移基因治疗
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MEMS圆片级真空封装金硅键合工艺研究被引量：8
2011年
提出一种适用于微机电系统(MEMS)圆片级真空封装的键合结构,通过比较分析各种键合工艺的优缺点后,选择符合本试验要求的金硅键合工艺。根据所提出键合结构和金硅键合的特点设计键合工艺流程,在多次试验后优化工艺条件。在此工艺条件下,选用三组不同结构参数完成键合试验。之后对比不同的结构参数分别测试其键合质量(包括键合腔体泄漏率和键合强度的检测)。完成测试后对不同结构参数导致键合质量的差异做出定性分析,同时得到适用于MEMS圆片级真空封装的金硅键合结构和键合工艺。最后对试验做出总结和评价,并对试验中的不足之处提出后续改进建议。
张卓汪学方王宇哲刘川刘胜
关键词：MEMS真空封装圆片级
一种非接触式金属电迁移测量方法和装置
本发明公开了一种非接触式金属互连线电迁移测量方法，具体为：使用平行光照射标定用金属互联线，同时采用四探针检测标定用金属互联线的电阻；建立四探针检测到的标定用金属互联线的电阻与标定用金属互联线的表面反射光强的对应关系；使用...
刘胜吕植成汪学方袁娇娇王宇哲
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一种焊球强度测试装置
一种焊球强度测试装置，属于位移和气体压强测试装置，解决现有接触式测量方法需要制造加工更小的测量元件并保证其强度的问题。本发明包括气源、增压泵、左支架、丝杆、喷嘴、喷嘴载台、光栅尺位移传感器、元件载台、右支架、底座和光栅尺...
汪学方刘胜胡畅徐春林王宇哲徐明海
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具有台阶的硅通孔结构及其制备工艺
本发明公开了一种具有台阶的硅通孔结构，包括半导体衬底和贯穿所述半导体衬底的具有台阶的通孔，所述台阶通孔侧壁依次沉积有绝缘层、粘附层、阻挡层，通孔内填充有金属导体，半导体衬底表面上还依次沉积有由绝缘层、粘附层、阻挡层、导电...
汪学方王宇哲徐明海徐春林胡畅张卓刘胜
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硅通孔结构及其制造方法
本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至5微米至20微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的...
汪学方徐春林王宇哲徐明海胡畅刘胜
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微型流量传感器
微型流量传感器，属于MEMS器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本发明之一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层上溅射有加热体，加热体的两...
汪学方刘胜胡畅王宇哲徐明海徐春林
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