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李永杰

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：杭州电子科技大学更多>>
发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程天文地球电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇天文地球
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇锚点
  • 3篇玻璃衬底
  • 3篇衬底
  • 2篇电容
  • 2篇电容式
  • 2篇折叠
  • 2篇蛇形
  • 2篇分辨率
  • 1篇低真空
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇栅结构
  • 1篇支撑梁
  • 1篇特性分析
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇阶跃响应

机构

  • 5篇杭州电子科技...

作者

  • 5篇李永杰
  • 4篇董林玺
  • 3篇颜海霞
  • 1篇孙玲玲
  • 1篇霍卫红
  • 1篇陈金丹

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 3篇2010
  • 2篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
低真空封装的新型变电容面积MEMS惯性传感器阶跃响应特性分析被引量：3
2009年
一种新型变电容面积MEMS惯性传感器与传统的梳齿电容传感器相比,具有对梳齿电容不平行敏感度低,可加测试电压高等优点。通过对该传感器在低真空封装条件下的惯性阶跃响应特性分析,着重研究了不同梳齿电容倾斜角度对该传感器的阶跃惯性信号响应的影响,以及不同倾斜角度梳齿的位移响应和测试电压、空气真空度的关系,并把该结果和梳齿结构的情况进行比较。结果表明,工艺因素对变电容面积MEMS惯性传感器在低真空封装下的阶跃惯性响应影响很小;另外,该结构上可加的测试电压可以是梳齿电容结构上可加测试电压的近10倍,这有利于减小接口电路的噪声。以上分析论证了该新型传感器有利于降低器件的工艺要求和提高传感器的分辨率。
陈金丹董林玺颜海霞霍卫红李永杰孙玲玲
关键词：MEMS
一种电容式双向微惯性传感器
本实用新型涉及一种电容式双向微惯性传感器。现有的传感器成本较高。本实用新型的硅质量块四个边上设置有四根U形硅支撑梁，硅质量块通过四根U形硅支撑梁和锚点架设在玻璃衬底上。硅质量块上交错设置有两个用于X方向敏感检测的栅形槽和...
董林玺颜海霞李永杰
文献传递
新型栅结构双向MEMS惯性传感器研究
微电子机械系统(MEMS)是一个发展十分迅速、应用日渐广泛的领域，其中以加速度计为代表的MEMS 传感器是目前应用最为广泛的MEMS 器件。电容式MEMS 加速度计具有灵敏度高、温度系数小、功耗和成本低等优点，在汽车工业...
李永杰
关键词：微电子机械系统惯性传感器电容式加速度计
文献传递
一种折叠梁式双向微惯性传感器
本实用新型涉及一种折叠梁式双向微惯性传感器。现有的传感器分辨率较低。本实用新型的硅质量块四个角上设置有四根蛇形折叠硅支撑梁，硅质量块通过蛇形折叠硅支撑梁和锚点架设在玻璃衬底上。硅质量块上对称设置有八个用于X方向敏感检测的...
董林玺颜海霞李永杰
文献传递
折叠梁式双向微惯性传感器
本实用新型涉及一种折叠梁式双向微惯性传感器。现有的传感器分辨率较低。本实用新型的硅质量块四个角上设置有四根蛇形折叠硅支撑梁，硅质量块通过蛇形折叠硅支撑梁和锚点架设在玻璃衬底上。硅质量块上交错设置有两个用于X方向敏感检测的...
董林玺颜海霞李永杰
文献传递
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