张小波
- 作品数：12 被引量：8H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器
- 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运...
- 丁桂甫吴义伯张丛春王娟张小波王亚攀
- 文献传递
- 带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器
- 一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU－8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU－8驱动层包括SU－8热臂、SU－8冷臂、SU－8柔性...
- 丁桂甫吴义伯张丛春黄闯张小波
- 文献传递
- 多种聚合物复合材料电热微驱动器
- 一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU－8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线...
- 张丛春张小波吴义伯王亚攀
- 文献传递
- 带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器
- 一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：支撑基座、U型SU-8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU-8驱动层包括SU-8热臂、SU-8冷臂、SU-8柔性...
- 丁桂甫吴义伯张丛春黄闯张小波
- 文献传递
- 新型电热微驱动器的研究
- 随着电子产品的小型化和系统功能的集成化,微型驱动器获得了巨大的市场潜力并拥有广阔的应用前景。众多微驱动器中,电热微驱动器具有体积小、结构相对简单、加工工艺稳定以及成本低等优点,成为微型机械电子系统研究的热门。本文研究了新...
- 张小波
- 关键词：微机电系统悬臂梁
- 文献传递
- 多种聚合物复合材料电热微驱动器
- 一种多种聚合物复合材料电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层；应力控制层位于功能膨胀层下方，形成双层结构；功能膨胀层是SU-8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构；引线...
- 张丛春张小波吴义伯王亚攀
- 文献传递
- 基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器
- 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器，包括：永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元，其中：永磁体位于衬底下方，并与衬底紧密相连；电热电磁驱动单元、双向运...
- 丁桂甫吴义伯张丛春王娟张小波王亚攀
- 文献传递
- 一种金属基聚合物电热微驱动器的设计与仿真被引量：3
- 2010年
- 提出了一种用于双稳态MEMS继电器的面外运动金属基聚合物电热微驱动器,下层结构使用了环氧树脂型SU-8胶作为驱动层,中间层为蛇形镍电阻丝发热层,上层结构为金属偏置层,构成的多层膜结构在常温下保持悬空部分平直,通电时产生的焦耳热使微驱动器件发生面外运动。先对设计的微驱动器进行了概念分析,再利用ANSYSTM有限元分析软件的多物理场(电-热-机械耦合)对热驱动器的性能进行了仿真与优化。当SU-8驱动层厚度、热电阻丝厚度、偏置层厚度比分别为12:4:4μm时,所设计器件的驱动性能最佳,即在0.4V驱动电压下,响应时间10ms时微驱动器产生驱动位移28μm,输出力为1mN,功耗为10mW。
- 吴义伯丁桂甫张小波王亚攀张丛春
- 关键词：电热驱动SU-8
- 基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器
- 一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极、U型双热臂复合梁电热驱动器、V型复合梁电热驱动器。所述U型双热臂复合梁电热驱动器包括U型双热臂...
- 张丛春吴义伯王娟张小波王亚攀丁桂甫
- 文献传递
- 一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器被引量：7
- 2009年
- 介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出驱动力的大小,比较结果后确定结构参数。再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺,加工制作出了电热微驱动器样品,并对样品进行了观测和分析。
- 张小波吴义伯王亚攀张丛春丁桂甫
- 关键词：ANSYS仿真
