苏静杰
- 作品数：13 被引量：29H指数：4
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术理学电子电信更多>>
- 一种高功率的微波等离子体金刚石膜化学气相沉积装置
- 一种高功率的微波等离子体金刚石膜化学气相沉积装置，属于金刚石膜制备技术领域。该装置包含由谐振腔上圆柱体、下圆柱体、沉积金刚石膜的沉积台以及半椭球形微波反射体所组成的谐振腔主体。半椭球形微波反射体与谐振腔上圆柱体之间在外形...
- 唐伟忠苏静杰李义锋于盛旺黑鸿君刘艳青
- 文献传递
- 高品质金刚石厚膜的微波等离子体CVD沉积技术
- 金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石厚膜的各种方法之中，高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高，同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好，因而一直是制备高品质金刚石厚膜的首选方法。在世界...
- 唐伟忠于盛旺范朋伟李义锋苏静杰刘艳青
- 关键词：MPCVD高功率
- TM<Sub>021</Sub>模式的高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置
- 本发明TM<Sub>021</Sub>模式的高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，该装置由上下圆柱体、可调节的上腔体和微波反射板、沉积台、微波同轴激励口，微波石英窗口，进出气口，测温孔和观察窗等组成。此装置拥有TM<Sub...
- 唐伟忠李义锋苏静杰刘艳青丁明辉李小龙姚鹏丽
- 文献传递
- 高品质金刚石膜微波等离子体CVD技术的发展现状被引量：11
- 2012年
- 金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法。在世界范围内,美、英、德、日、法等先进国家均已掌握了以高功率MPCVD法沉积高品质金刚石膜的技术。但在我国国内,高功率MPCVD装备落后一直是困扰我国高品质金刚石膜制备技术发展的主要障碍。首先综述国际上高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术的发展现状,包括各种高功率MPCVD装置的特点。其后,回顾了我国金刚石膜MPCVD技术的发展历史,并介绍北京科技大学近年来在发展高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术方面取得的新进展。
- 唐伟忠于盛旺范朋伟李义锋苏静杰刘艳青
- 环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜被引量：7
- 2016年
- 介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性。在10.5 k W的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜。在真空泄漏速率约2.5×10^(-6)Pa·m^3/s的条件下金刚石膜的生长速率达到6μm/h,金刚石膜厚度偏差小于±2.1%。抛光后的金刚石膜红外透过率在6.5~25μm范围内接近71%;紫外透过率在270 nm处超过50%,金刚石膜样品的光学吸收边约为225 nm;通过紫外吸收光谱计算的金刚石膜样品中的氮杂质含量约为1.5 ppm;金刚石膜的拉曼半峰宽小于1.8 cm^(-1)。
- 李义锋唐伟忠苏静杰安晓明刘晓晨姜龙孙振路
- 关键词：金刚石膜化学气相沉积高功率
- 分体圆柱谐振腔法用于金刚石膜微波介电性能测试的研究被引量：4
- 2015年
- 针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点,研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品,用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进行了实验研究。在此基础上,使用分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置对微波等离子体化学气相沉积法和直流电弧等离子体喷射法制备的高品质金刚石膜在Ka波段的微波介电性能进行了测试比较。测试结果表明,由Raman光谱、紫外-可见光谱等分析证明品质较优的微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石膜具有更高的微波介电性能,其相对介电常数和微波介电损耗值均低于直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜。
- 苏静杰杨梓李义锋唐伟忠安晓明郭辉
- 关键词：微波介电性能金刚石膜
- MPCVD金刚石膜的品质对其在K-Ka波段微波介电性能的影响
- 2017年
- 针对MPCVD金刚石膜K-Ka波段(18～40 GHz)微波电子器件领域的应用需求,以及探索金刚石膜介电性能与品质之间的关系的需要,制备了5个金刚石膜样品,并建立了一套K波段分体圆柱谐振腔微波介电性能测试装置。使用Raman光谱表征金刚石膜质量,采用K波段分体圆柱谐振腔测量金刚石膜的介电性能,并与Ka波段的结果进行比较。结果表明,不同品质的样品介电损耗在3.8×10^(-5)～76.8×10^(-5)范围内,且介电损耗与Raman半峰宽密切相关。同时,高品质金刚石膜K波段介电损耗高于Ka波段,而低品质的则呈现相反的结果。这是由于高品质金刚石膜介电损耗主要由导电性引起,而低品质金刚石膜内较高的缺陷密度导致单声子声学振动吸收和瑞利散射较大。
- 刘艳青丁明辉苏静杰李义峰唐伟忠
- 关键词：拉曼光谱介电性能
- 高品质金刚石厚膜的微波等离子体CVD沉积技术
- 金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石厚膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石厚膜的首选方法。在世界...
- 唐伟忠于盛旺范朋伟李义锋苏静杰刘艳青
- 关键词：高功率
- 文献传递
- 一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置
- 一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置，适用于高功率微波输入下高品质金刚石膜的快速制备。谐振腔主体由圆顶反射体、金属薄板反射体、石英环窗口、圆柱反射体和沉积台所组成。金属薄板反射体可以阻挡微波向谐振腔顶部的传播，...
- 唐伟忠苏静杰李义锋刘艳青丁明辉李小龙姚鹏丽
- 文献传递
- 一种椭球形高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置
- 本发明为一种椭球形高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，该装置由阶梯状环形微波耦合系统、设置于环形天线阶梯处的环形石英微波窗口、椭球形微波谐振腔、可调节沉积台、圆锥形上反射体和可调节圆柱形下反射体，进出气口，测温孔和观察窗...
- 唐伟忠李义锋苏静杰刘艳青丁明辉王歌
- 文献传递
