山超
- 作品数：13 被引量：4H指数：1
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程电子电信理学文化科学更多>>
- 基于超疏液体金属表面的柔性电路印刷方法
- 本发明公开了一种电路印刷方法，具体涉及基于超疏液体金属表面的柔性电路印刷方法，以解决现有技术中存在的“抗液体金属表面”理化稳定性差，容易脱落，加工工艺缺乏普适性，只能在特定材料表面制成，且图案化过程复杂的问题。采用的技术...
- 陈烽张径舟杨青张承君雍佳乐山超
- 文献传递
- 飞秒激光湿法刻蚀技术制备石英内部真三维微线圈及微传感器的研究
- 感器是一个重要的功能元件,它被广泛的应用于电子电路、制动装置和MEMS系统等.利用飞秒激光微加工技术在透明介质内部制备均匀性、性能良好,能够满足实际应用要求的真三维微传感器件,是微加工领域的研究热点.论文主要研究了利用飞...
- 山超杨青陈烽孟祥卫柳克银李彦阳
- 关键词：微传感器
- 一种石英材料内部的螺线管微电感的制备方法
- 一种石英材料内部的螺线管微电感的制备方法，加工无磁芯结构螺线管微电感和有磁芯结构螺线管微电感。通过飞秒激光诱导化学腐蚀工艺在石英材料内部加工出三维螺旋微通道；结合微流体工艺将液态导电介质导入该螺旋微通道中，导电介质固化后...
- 杨青陈烽柳克银何圣关赵玉龙山超
- 文献传递
- 一种石英材料内部的螺线管微电感的制备方法
- 一种石英材料内部的螺线管微电感的制备方法，加工无磁芯结构螺线管微电感和有磁芯结构螺线管微电感。通过飞秒激光诱导化学腐蚀工艺在石英材料内部加工出三维螺旋微通道；结合微流体工艺将液态导电介质导入该螺旋微通道中，导电介质固化后...
- 杨青陈烽柳克银何圣关赵玉龙山超
- 毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法
- 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法，通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内，实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过...
- 杨青陈烽柳克银孟祥卫山超
- 文献传递
- 一种具有耐久性超滑表面的光学玻璃及其制备方法
- 本发明涉及一种具有耐久性超滑表面的光学玻璃及其制备方法；解决现有技术中存在的在摩擦力和流体剪切力的作用下，超滑性能的丧失的技术问题；光学玻璃为透明的，其内部设置有舱室；且上表面上开设有多个连通舱室与上表面的毛细通孔；舱室...
- 陈烽梁婕山超杨青
- 飞秒激光湿法刻蚀和液体灌注的光波导制备方法及光波导
- 本发明涉及一种基于飞秒激光湿法刻蚀和液体灌注的光波导制备方法及光波导，以解决现有三维波导工艺制备的三维波导精度较差、损耗高、加工粗糙度大、灵活度小、可修饰性较差的技术问题。该方法包括：1、采用飞秒激光对透明基底进行改性；...
- 陈烽王昊胡涛山超杨青
- 飞秒激光湿法刻蚀微纳制造被引量：4
- 2014年
- 飞秒激光微加工作为一种新型微纳制造技术,在复杂三维构型制作方面具有其独特的优势,但激光加工效率问题严重制约了飞秒激光微加工技术走向实际工程应用,提出一种飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法,以提高飞秒激光微加工的效率为突破口,通过调控激光与物质相互作用获得材料的目标靶向改性,进而结合化学湿法刻蚀实现硬质材料上的高效和高精度三维微加工,采用这一方法制作出的微透镜尺寸为80μm,球冠高6.7μm,表面粗糙度小于10nm。利用这种方法,实现了不同结构与特性的高质量微透镜阵列的超精密制备,在石英内部也实现了螺旋微通道的复杂三维结构,螺旋通道直径为20μm,长径比超过100。
- 陈烽杨青边浩杜广庆柳克银孟祥卫邓泽方山超
- 关键词：飞秒激光湿法刻蚀微透镜微通道
- 真三维高集成度温控微反应器及其加工方法
- 本发明属于光学微加工技术领域，具体涉及真三维高集成度温控微反应器及其加工方法，目的在于解决现有温控微反应器在制备方法、器件结构和控温方式方面所存在的问题。本发明采用飞秒激光湿法刻蚀结合金属微固化工艺制得的真三维高集成度温...
- 陈烽郑书浩杨青山超
- 文献传递
- 毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法
- 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法，通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内，实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过...
- 杨青陈烽柳克银孟祥卫山超
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