刘伟华
- 作品数：1 被引量：5H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金高等学校学科创新引智计划更多>>
- 相关领域：电气工程更多>>
- 双足步进作动压电直线电机的工作机理及试验被引量：5
- 2015年
- 大行程和高精度是半导体加工、光波导封装等现代精密制造领域对作动器提出的新要求,在传统作动器中这两个特性往往相互矛盾从而难以同时具备。为获得满足这一要求的作动器,基于叠层压电堆器件的特点提出了一种新型步进压电直线电机的原理,详细分析了它的作动机理,该原理方案具有较大的作动行程和较高的步进分辨率,同时其输出推力与预压力成正比,有望获得较大的推力和自锁力。在原理分析的基础上,设计了电机的结构方案并加工了样机,讨论了该电机对装配的特殊要求并对样机的装配进行了验证试验,样机作动试验结果验证了该原理方案的可行性,并且在直流偏置50 V、峰峰值为100 V、频率10 Hz的正弦电压激励下,样机的平均速度达63.3μm/s,这与理论计算的相对偏差为6.9%。
- 王寅孙梦馨黄卫清刘伟华
- 关键词：压电电机步进
