冯俊波
- 作品数：4 被引量：8H指数：1
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信一般工业技术更多>>
- 硅基微纳光电子系统中光源的研究现状及发展趋势被引量：7
- 2009年
- 综合微电子学及微纳光学的优势,硅基微纳光电子学正在快速走向实用阶段。与微电子制造技术兼容的微纳光子器件,包括调制器、探测器、分束器以及耦合器等均取得了重要的突破。但硅基微纳光源的研究则仍处在探索阶段。外部光源在多大程度上能代替片上光源?片上光源的最佳选择是什么?介绍、分析了目前硅基微纳光源的研究现状及进展,并对片上光源的研究趋势进行展望。
- 周治平王兴军冯俊波王冰
- 关键词：集成光学
- 氮化铝薄膜的原子层淀积制备及应用被引量：1
- 2009年
- 以三甲基铝(TMA)和氨气(NH3)为源,在原子层淀积设备上实现了氮化铝薄膜的制备.通过扫描电子显微镜、X射线能谱仪和原子力显微镜对氮化铝薄膜的生长速率、成分和粗糙度进行了分析,优化了薄膜淀积工艺.以每周期单分子层的生长模式进行氮化铝薄膜淀积,淀积速率为每周期0.205 nm,厚度为61 nm的薄膜粗糙度为0.69 nm.利用原子层淀积氮化铝薄膜的保型性,通过nm级薄膜厚度的控制,制备了复杂的环形光子晶体器件,其工艺精度高达50 nm.
- 陈曜冯俊波周治平于军
- 关键词：氮化铝原子层淀积保型性粗糙度
- 一种光栅耦合器及其在偏振和波长分束上的应用
- 本发明公开了一种光栅耦合器，由上至下依次包括上包层、光栅层、波导层和下包层，所述光栅层采用二元闪耀光栅，所述二元闪耀光栅为一维二元闪耀光栅或二维二元闪耀光栅。本发明所提供的二元闪耀光栅耦合器可以获得高的耦合效率，实现完全...
- 周治平冯俊波
- 文献传递
- 一种光栅耦合器及其在偏振和波长分束上的应用
- 本发明公开了一种光栅耦合器，由上至下依次包括上包层、光栅层、波导层和下包层，所述光栅层采用二元闪耀光栅，所述二元闪耀光栅为一维二元闪耀光栅或二维二元闪耀光栅。本发明所提供的二元闪耀光栅耦合器可以获得高的耦合效率，实现完全...
- 周治平冯俊波
- 文献传递
