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王汉

作品数：23 被引量：15H指数：2
供职机构：清华大学深圳研究生院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程文化科学水利工程石油与天然气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 3篇机械工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇水利工程

主题

  • 16篇喷嘴
  • 9篇显影液
  • 8篇显影
  • 7篇喷涂
  • 7篇狭缝
  • 6篇电路
  • 6篇电路芯片
  • 6篇芯片
  • 6篇流道
  • 6篇集成电路
  • 6篇集成电路芯片
  • 3篇主流道
  • 3篇复数
  • 2篇蛇形
  • 2篇射流
  • 2篇输运
  • 2篇通孔
  • 2篇凸台
  • 2篇喷涂作业
  • 2篇热交换

机构

  • 23篇清华大学
  • 2篇中国人民解放...

作者

  • 23篇王汉
  • 22篇向东
  • 21篇牟鹏
  • 21篇刘学平
  • 19篇段广洪
  • 14篇徐强
  • 2篇瞿德刚
  • 2篇刘楠
  • 1篇刘睿

传媒

  • 2篇机械工程学报
  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2017
  • 6篇2016
  • 1篇2015
  • 8篇2014
  • 6篇2013
  • 1篇2012
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置及工艺喷嘴
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置，包括：一腔体、上梳状挡流板和下梳状挡流板；腔体内设一换热腔室，上梳状挡流板包括盖板和若干上挡流片，下梳状挡流板包括底板和若干下挡流片，下挡流片与上挡流片交错分布于换热腔室内，盖板的两端分...
刘学平王汉向东牟鹏段广洪
文献传递
一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴
本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴，包括：喷嘴主体和挡流板；喷嘴主体包括一呈U型的主腔室，以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口；挡流板的横截面呈T型，插装于主腔室，挡流板密封主腔室口部，挡流板...
刘学平王汉向东牟鹏徐强段广洪
文献传递
一种显影喷嘴
一种显影喷嘴，包括相对设置的条形底座和上壳、以及若干喷液管，所述底座和上壳围成一个腔体，所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴，所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔，所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内，喷液管...
刘学平王汉向东牟鹏段广洪
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴，包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板，喷嘴底板安装于喷嘴主体，喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合；挡板安装于喷嘴底板，挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合，喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
文献传递
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置及工艺喷嘴
一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置，包括：一腔体、上梳状挡流板和下梳状挡流板；腔体内设一换热腔室，上梳状挡流板包括盖板和若干上挡流片，下梳状挡流板包括底板和若干下挡流片，下挡流片与上挡流片交错分布于换热腔室内，盖板的两端分...
刘学平王汉向东牟鹏段广洪
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一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴
本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴，包括：喷嘴主体和挡流板；喷嘴主体包括一呈U型的主腔室，以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口；挡流板的横截面呈T型，插装于主腔室，挡流板密封主腔室口部，挡流板...
刘学平王汉向东牟鹏徐强段广洪
文献传递
集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴，包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体，第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体，喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道，其中，所述第一板体侧立设置，所述出射流道包括...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴，包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体，第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体，喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道，其中，所述第一板体侧立设置，所述出射流道包括...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
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一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴
一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴，包括：喷嘴主体，该喷嘴主体内部设有进液流道、均压流道以及出射流道；开有一狭缝的矩形导流板，该矩形导流板装于所述进液流道下端的法兰部，所述进液流道通过该矩形导流板的狭缝过渡到所述均压流道...
刘学平王汉徐强向东牟鹏段广洪
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴，包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板，喷嘴底板安装于喷嘴主体，喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合；挡板安装于喷嘴底板，挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合，喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
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