冯斌
- 作品数：7 被引量：10H指数：2
- 供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 磁控溅射银/铜双层膜的电性能和结合强度被引量：2
- 2015年
- 采用磁控溅射工艺在微波腔体耦合器内壁沉积了银/铜双层膜,并对该膜的电性能以及膜基结合强度等进行了研究。结果表明：采用磁控溅射法沉积的银/铜双层膜和基体的结合强度可达5.0 MPa;其中,内壁沉积有2μm银/2μm铜双层膜的耦合器的电性能最佳,耦合度为5.75~6.20dB,隔离度为31.02dB,端口驻波值为24.43dB,均达到了电镀的指标,插入损耗小于1.70dB,优于电镀的;该工艺用银量少,无污染,可替代电镀在微波器件表面沉积功能镀层。
- 王会徐晓冯斌王德苗
- 关键词：磁控溅射耦合腔双层膜电性能
- PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究
- 采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化,分别研究了Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag三种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异,并与'丝网印刷银浆再高温烧结'(简称'丝印烧结')金属化工艺进行了...
- 何梅冯斌王德苗金浩
- 关键词：电子元件金属化工艺
- 文献传递
- ZnO压敏陶瓷溅射金属化的研究被引量：2
- 2016年
- 采用直流磁控溅射工艺实现氧化锌压敏陶瓷的金属化,提出以三层电极膜系(镍铬/铜/银)的结构来获得更优的机械性能和电性能。与传统丝印烧结银浆金属化工艺相比,磁控溅射工艺绿色环保,溅射电极的厚度可控,与基底的附着力更强,且具有更优的电性能。研究结果表明,采用磁控溅射工艺,膜层附着力可以从9.7 MPa提高到13.9 MPa;器件的非线性系数和压敏电压分别增加了45.5%和5.6%,漏电流降低了55%;经过125℃、100h的高温负荷寿命试验后,压敏电压变化率从1.32%降低到了0.61%。对于氧化锌压敏电阻,磁控溅射法制备的三层膜电极的电气性能、机械性能和可靠性均远优于烧银电极,具有良好的应用前景。
- 陶晔波徐晓金浩冯斌王德苗
- 关键词：压敏陶瓷金属化磁控溅射电性能
- 基于氧化石墨烯的QCM呼吸传感器及系统被引量：2
- 2020年
- 针对人体呼吸特征监测,设计了基于氧化石墨烯(GO)的石英晶体微天平(QCM)呼吸传感器以及传感系统。传感器位于鼻子与上唇之间,通过监测呼吸导致的湿度变化来监测人体呼吸特征。通过研究GO敏感膜厚度对传感性能的影响,使QCM传感器对湿度变化的响应和恢复时间可分别缩短到0.4 s和1.2 s,满足了呼吸监测的快速响应、恢复速度要求。传感系统可监测呼吸的发生时间和强度,可测量的呼吸频率大于27次/min,高于成人呼吸频率(约16~20次/min),可用于实际的人体呼吸监测。
- 何朝梁金浩陶翔冯斌
- 关键词：石英晶体微天平氧化石墨烯
- 磁控溅射陶瓷金属化技术及其生产线
- 几乎所有电子元件都要在其表面镀(涂)金属薄膜,以便引出电极,这一工艺称金属化.金属化的质量直接关系到器件的品质、性能与可靠性.国内的金属化一直沿用着丝印-烧结银浆以及等离子喷涂这一落后工艺.国际上,发达国家开始采用先进的...
- 王德苗金浩冯斌
- 关键词：生产线磁控溅射技术
- 文献传递
- PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究被引量：2
- 2014年
- 采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化,分别研究了Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag 3种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异,并与"丝网印刷银浆再高温烧结"(简称"丝印烧结")金属化工艺进行了比较。研究结果表明,用溅射金属化工艺制备的压电蜂鸣片,其电极膜层致密、均匀,一致性好,电学性能普遍优于丝印烧结工艺,其中又以Ti/Cu/Ag膜系为最佳,最大抗拉强度达到13.5 MPa、平均谐振电阻小于25Ω、机电耦合系数大于0.7,而金属化膜厚仅为丝印烧结工艺的1/4,另外电容量和谐振频率等指标均符合蜂鸣器的标准,各项性能全面优于丝印烧结金属化工艺,具有全过程无污染、生产成本低、可控性强,适合于产业化生产等优点,可以取代丝印烧结工艺。
- 何梅徐晓冯斌王德苗金浩
- 关键词：PZT磁控溅射复合电极电性能
- 反应磁控溅射制备c轴择优取向氮化铝薄膜的研究进展被引量：2
- 2011年
- AlN薄膜在力学、光学和电子学中有着广泛的应用,而反应磁控溅射技术由于沉积温度低,成本低,非常适合沉积应用于GHz通信系统中体声波(BAW)和表面声波(SAW)器件的(002)取向的AlN薄膜。本文先概述了反应溅射的两个模型,然后综述了工艺参数包括溅射气压、溅射功率、氮气浓度、衬底温度、衬底种类、靶基距、薄膜厚度、衬底偏压、退火处理等对AlN薄膜生长和性能的影响。
- 周剑赵楷冯斌金浩王德苗
- 关键词：氮化铝反应溅射工艺参数
