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柳森娟

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜设备
  • 1篇真空
  • 1篇真空热处理
  • 1篇真空退火
  • 1篇真空退火炉
  • 1篇退火
  • 1篇退火工艺
  • 1篇退火炉
  • 1篇可编程控制
  • 1篇可编程控制器
  • 1篇控制器
  • 1篇工控
  • 1篇工控机
  • 1篇编程控制
  • 1篇编程控制器
  • 1篇PLC
  • 1篇VT
  • 1篇程控制

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇刘锋敏
  • 2篇柳森娟
  • 1篇杨晓东

传媒

  • 2篇科技情报开发...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
VTS-80真空退火炉的设计
2010年
金属在真空中退火是真空热处理的一种工艺,目前在钛、锆等稀有金属材料的加工中应用广泛。详细介绍了VTS-80真空退火炉的应用、结构及主要部件的设计。
柳森娟刘锋敏
关键词：真空热处理真空退火炉退火工艺
基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计被引量：6
2009年
磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用,控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响。介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备电气自动控制系统的硬件构成、系统原理、系统功能,论述了其设计思路及方法,并重点叙述了OMRON CJ系列PLC在控制系统中的应用。
杨晓东柳森娟刘锋敏
关键词：可编程控制器工控机
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共1页<1>
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