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张紫辰

作品数：117 被引量：43H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金广西壮族自治区自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 102篇专利
  • 15篇期刊文章

领域

  • 44篇电子电信
  • 11篇自动化与计算...
  • 5篇电气工程
  • 4篇生物学
  • 4篇金属学及工艺
  • 4篇文化科学
  • 3篇化学工程
  • 2篇理学
  • 1篇经济管理
  • 1篇机械工程

主题

  • 63篇激光
  • 41篇光束
  • 38篇晶圆
  • 31篇激光加工
  • 25篇激光光束
  • 24篇光斑
  • 14篇光学
  • 13篇液晶
  • 12篇二次谐波
  • 10篇相控
  • 9篇激光束
  • 8篇硅基液晶
  • 8篇改质
  • 6篇折弯
  • 6篇吸收体
  • 6篇划片
  • 6篇激光光斑
  • 6篇硅晶
  • 5篇液晶器件
  • 5篇透镜

机构

  • 110篇中国科学院微...
  • 10篇清华大学
  • 4篇桂林电子科技...
  • 4篇中国科学院
  • 2篇北京信息科技...
  • 2篇中国电子技术...
  • 1篇长春理工大学
  • 1篇华北光电技术...
  • 1篇教育部
  • 1篇中国科学院大...
  • 1篇四川智溢实业...

作者

  • 117篇张紫辰
  • 13篇李博
  • 13篇王磊
  • 9篇潘岭峰
  • 9篇王晓峰
  • 7篇尤政
  • 4篇初大平
  • 4篇王瑜
  • 4篇滕瑞
  • 3篇李海鸥
  • 2篇李琦
  • 2篇刘海南
  • 2篇韦春荣
  • 2篇赵发展
  • 2篇罗家俊
  • 1篇祝连庆
  • 1篇杨富华
  • 1篇赵嘉昊
  • 1篇张超
  • 1篇王秋明

传媒

  • 3篇红外与激光工...
  • 3篇激光与红外
  • 2篇电子学报
  • 2篇激光与光电子...
  • 2篇电子产品可靠...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇中国激光
  • 1篇红外

年份

  • 7篇2024
  • 25篇2023
  • 25篇2022
  • 11篇2021
  • 3篇2020
  • 7篇2019
  • 13篇2018
  • 19篇2017
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 2篇2013
共 117 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种激光加工晶圆的方法及系统
本发明提供一种激光加工晶圆的方法及系统，所述方法包括：获取晶圆上表面Low‑K层的厚度信息；根据厚度信息控制相控型硅基液晶对激光光束进行调制，以使激光光束对晶圆上表面Low‑K层进行刻蚀。本发明能够通过对晶圆上表面Low...
张紫辰刘嵩侯煜
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一种光学氢气传感器及其制备方法和应用系统
本发明提供一种光学氢气传感器，包括衬底、位于衬底表面的氧化层、以及位于氧化层表面上的金属纳米棒阵列，其中，金属纳米棒阵列包括多个周期性分布的金属纳米棒单元，金属纳米棒单元包括吸氢材料层。本发明还提供一种光学氢气传感器的制...
岳嵩刘嵩侯煜张紫辰
文献传递
一种激光加工晶圆的方法及装置
本发明提供一种激光加工晶圆的方法及装置，所述方法包括：设置激光光束在晶圆上表面Low‑K层上加工后需形成的预设槽形信息；根据预设槽形信息匹配激光光束需具有的拓扑图案分布；根据所述拓扑图案分布对激光光束依次进行分束处理、整...
张紫辰侯煜刘嵩
文献传递
一种裂片装置
本发明提供了一种裂片装置，该裂片装置包括支撑结构、运动平台、第一裂片组件及第二裂片组件。通过设置两套裂片组件，其中一套裂片组件中的裂片台具有凸起曲面，用于对晶圆上的所有切割道进行裂片，以提高裂片效率。另一套裂片组件通过第...
侯煜李曼张喆王然张昆鹏岳嵩石海燕薛美张紫辰
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一种半导体缺陷表征的方法、装置、系统、设备及介质
本发明公开了一种半导体缺陷表征的方法、装置、系统、设备及介质，包括：获取待测样品材料类型，其中，所述待测样品为半导体材料；基于所述待测样品材料类型，调整所述待测样品的温度；基于二次谐波表征方法，对调整温度后的所述待测样品...
赵泓达李博王磊王然张紫辰张昆鹏罗家俊滕瑞
文献传递
一种超表面器件的可调谐测量方法及测量系统
本发明提供了一种超表面器件的可调谐测量方法及测量系统，该超表面器件的可调谐测量方法包括：将待测的超表面器件粘在玻璃片上，以在超表面与玻璃片之间形成微米腔；将玻璃片和待测的超表面器件呈水平放置；微米腔利用毛细现象吸入折射率...
王然岳嵩曲世田赵泓达薛美张紫辰
制备黑硅的方法及装置
本发明提供一种制备黑硅的方法，包括：将待处理材料设置在空气氛围中；在待处理材料的表面依据第一间距设置多个加工行；采用方形平顶光斑对所述多个加工行依次进行诱导加工；其中，相邻两个加工行诱导加工过程中，具有方形平顶光斑边长十...
侯煜文志东张昆鹏李曼石海燕张喆宋琦许子业岳嵩王然薛美张紫辰
一种光纤孔的加工方法及基于其的加工设备
本发明提供了一种光纤孔的加工方法及基于其的加工设备，该光纤孔的加工方法包括：提供一玻璃基板，玻璃基板具有相对的第一端面和第二端面；玻璃基板内形成有至少一个改性区，每个改性区均经激光分层加工改性而成，且每个改性区均贯穿第一...
侯煜李朋李曼石海燕张昆鹏岳嵩王然张喆文志东薛美张紫辰
一种提高相控硅基液晶器件响应速度的方法
本发明公开了一种提高相控硅基液晶器件响应速度的方法，包括：步骤S101，确定调整步长m；步骤S102，根据相控硅基液晶器件的厚度和工作温度，结合调整步长m，确定不同的响应区间；步骤S104，选择各个响应区间内响应速度变化...
张紫辰尤政初大平
文献传递
碳化硅的激光切割方法
本发明提供一种碳化硅的激光切割方法，包括：在加工点位到达第一预定点位之前，在LCOS中逐个点位加载对应的相位图，使原始激光束分束形成的子激光束数量递增；其中，一个以上的子激光束线性排列，排列顺序为第一的子激光束为第一子激...
张紫辰侯煜石海燕文志东张昆鹏李曼张喆
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