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张璟

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：浙江工业大学更多>>
发文基金：浙江省科技厅重点资助项目浙江省教育厅重点资助项目浙江省自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇光电子材料
  • 1篇超光滑
  • 1篇超光滑表面
  • 1篇M
  • 1篇S-

机构

  • 1篇浙江工业大学
  • 1篇浙江省质量技...

作者

  • 1篇叶怀储
  • 1篇李伟
  • 1篇马树林
  • 1篇张璟

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MS-6BC型精密双面抛光机的研制被引量：7
2008年
光电子信息产业的快速发展,要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工,精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之一。本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面抛光机,介绍了其结构及其特点,并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程。最后通过试验验证了MS-6BC型精密双面抛光机具有加工精度高,控制性能好的特点,适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超精密加工。
张璟胡刚翔马树林李伟叶怀储
关键词：光电子材料超光滑表面
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