屈明山
- 作品数：30 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于齿轮式的平面鉴码轮结构
- 本实用新型公开了一种基于齿轮式的平面鉴码轮结构，其特征在于：包括两个半径相同的鉴码轮，两个鉴码轮的端面有交叠部分，以鉴码轮的中心为圆心将两个相向的端面上划分若干环形轨道，环形轨道的里面为内圈，中间的环形轨道和最外面的环形...
- 支钞李严军唐彬屈明山王月王劼郭建宏张德谢晋
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- 基于微型力矩器的石英挠性加速度计及其制造方法
- 本发明公开了一种基于微型力矩器的石英挠性加速度计及其制造方法，该加速度计包括石英挠性摆片，所述石英挠性摆片的上下侧均依次放置有永磁薄膜、电容极板和硅基线圈，从而使得所述石英挠性加速度计形成为以石英挠性摆片为对称中心、上下...
- 王月支钞屈明山李严军李枚
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- 一种扁平状旋转电机
- 本发明公开了一种扁平旋转电机，所述电机包括转子、定子和铁芯三部分，整个电机呈扁平形状；其中，转子由转子基板和转子永磁两部分组成；定子由定子基板和定子线圈两部分组成，定子线圈包括外环线圈和内环线圈两部分；铁芯位于定子线圈正...
- 屈明山熊壮王月支钞李严军王颉王斌张青芝
- 基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计被引量：3
- 2013年
- 设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。
- 袁明权孙远程张茜梅武蕊屈明山熊艳丽
- 关键词：微机电系统圆片级封装微加速度计压阻阳极键合
- 一体式石英双振梁加速度计
- 本实用新型公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；振梁包括第一直梁及第二直梁，第一直梁及第二直梁并列设置，...
- 张照云刘显学李枚屈明山沈朝阳许蔚彭勃熊壮苏伟
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- 一种基于MEMS微细线圈的微区域磁化装置及方法
- 本发明公开了一种基于MEMS微细线圈的微区域磁化装置及方法，所述装置包括包括：脉冲电源、细微线圈、基体和永磁薄膜；所述方法包括：首先利用微纳加工工艺制备微细线圈，接着制备永磁薄膜，将永磁薄膜贴合在微细线圈的基体上，在微细...
- 谢晋支钞屈明山李严军王颉张慧刘鑫陶宏
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- 一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法
- 本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域，本发明公开一种熔石英悬臂梁‑质量块结构及其加工方法。加工方法包括以下步骤：根据悬臂梁‑质量块结构的图形，采用超快激光切割加工熔石英基片，在熔石英基片上形成上下贯穿的切割通道；清洗熔...
- 张照云沈朝阳王颉熊壮赵宝林刘振华王旭光屈明山郭建宏魏云川
- 具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法
- 本发明涉及传感器技术领域，提供一种具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法。微加速度计包括下极板和连接至下极板的应力缓冲板。下极板包括下极板主体和与下极板主体一体成型的隔离结构，应力缓冲板包括应力缓冲板主体和位于...
- 杨杰赵宝林张照云熊壮屈明山李严军郑英彬
- 一种三凸梁式微机械加速度传感器
- 本发明公开了一种三凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块，共包含两个锚区、三个敏感凸梁、两个质量块、四个压敏电阻。其连接关系是，所述的两个质量块通过一...
- 孙远程苏伟袁明权张茜梅王海青武蕊屈明山
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- 环形、矩形及I2形MEMS原子力显微镜探针的力灵敏度（英文）被引量：1
- 2018年
- 基于微电子机械系统（MEMS）技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜（AFM）探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像。通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平。
- 熊壮屈明山张照云杨荷
- 关键词：品质因数
