刘正
- 作品数：15 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划山西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术兵器科学与技术更多>>
- 基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计
- 本发明涉及基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计，包括光学谐振腔、悬臂梁、基底、质量块、输入光栅、输出光栅、输入光波导和输出光波导；所述悬臂梁的一端与基底相连，另一端与质量块连接，悬臂梁用刻蚀形成，光学谐振腔被刻蚀在悬...
- 熊继军严英占闫树斌张文栋刘俊薛晨阳吉喆刘正赵敏李杰贾鹏飞
- 基于SOI环形谐振腔的加速度传感器研究
- 加速度传感器，是实现对加速度检测的敏感器件，是车辆、船舶等抗冲击、抗振动测量以及地震监测、惯性导航与制导系统等领域常用的重要传感器。目前，随着人们对微机械器件性能要求的提高，特别是对高灵敏、快速响应速度的传感器件应用需求...
- 刘正
- 关键词：加速度传感器结构参数有限元分析方法
- 一种光学微腔耦合系统的封装结构及其封装方法
- 本发明涉及一种光学微腔耦合系统的封装结构及其封装方法，其结构包括光学微腔，耦合器，特点是还包括封装体；所述的封装体由包容整个光学微腔、耦合器的低损耗光学透明封装材料凝固构成。利用折射率低于光学微腔耦合系统折射率的低损耗光...
- 熊继军严英占闫树斌刘俊张文栋王红亮吉喆赵敏李杰刘正张宇光李鹏
- 文献传递
- 基于光子晶体微腔的悬臂梁式加速度计
- 本发明涉及光学和微机电技术，具体是一种基于光子晶体微腔的悬臂梁式加速度计。进一步扩展了光学微腔在悬臂梁式加速度计上的应用，基于光子晶体微腔的悬臂梁式加速度计，包括采用微机电器件加工工艺在半导体衬底上加工出的基座、单端与基...
- 刘俊闫树斌张文栋熊继军刘正石云波
- 文献传递
- 基于UG的枪弹弹头一体化设计技术研究
- 本文以提高枪弹弹头设计效率为目的,依据枪弹弹头设计要求,在设计分析一体化的思想下,运用UG二次开发技术,完成了针对普通弹的枪弹弹头设计分析一体化软件,实现了弹头弹道设计、结构参数设计、参数化建模、计算校核及发射强度快速仿...
- 刘正
- 关键词：二次开发C#
- 文献传递
- 芯片级全固化集成光波导陀螺被引量：5
- 2011年
- 高灵敏、全固态、集成制造的微光-机-电陀螺是未来发展的新一代惯性器件,在深空探测、载人航天以及飞行器制导技术领域具有迫切应用需求。提出基于光波导微腔透射谱输出特性的惯性测量方法与系统基础结构,并对其惯性测量原理、微加工工艺以及耦合性能进行了讨论。利用数值拟合得到波导耦合系统设计优化参数,采用激光熔融热处理技术,降低了波导表面粗糙度,测试获得品质因数约为108的高Q值微腔,为芯片级全固化集成光波导陀螺的制造奠定了基础。
- 闫树斌赵敏刘正李杰严英占薛晨阳刘俊
- 关键词：集成光波导透射谱
- 温度调制光学微腔耦合系统的输出方法及其耦合结构
- 本发明提供了温度调制光学微腔耦合系统的输出方法及其耦合结构，主要特点是在耦合系统一侧有微型加热器，微型加热器导线连接温控装置，并由光学透明封装材料将整个光学微腔、耦合器和微型加热器被包容在封装体内；其方法的特点就是通过调...
- 熊继军严英占闫树斌刘俊张文栋张会新吉喆赵敏刘正李杰张宇光李鹏
- 文献传递
- 基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计
- 本发明涉及基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计，包括光学谐振腔、悬臂梁、基底、质量块、输入光栅、输出光栅、输入光波导和输出光波导；所述悬臂梁的一端与基底相连，另一端与质量块连接，悬臂梁用刻蚀形成，光学谐振腔被刻蚀在悬...
- 熊继军严英占闫树斌王红亮张文栋刘俊薛晨阳吉喆王丽张宇光徐鹏飞刘正赵敏
- 文献传递
- 低损耗双锥光纤的制备与光学特性研究被引量：1
- 2011年
- 利用熔拉法制备了双锥光纤,系统地研究了拉制过程中拉制距离、拉制速度、氢气流量等参数与双锥光纤光学传输特性关系,实验表明,拉制距离控制在30mm-32mm,拉制速度在0.15mm/s,氢气流量在140-150之间时,可以得到损耗在0.5dB-0.7dB,锥腰直径介于0.6μm-2.5μm的低损耗双锥光纤。利用自行制备的双锥光纤进行微球腔耦合实验,得到微球腔良好的透射谱线。该范围内的双锥光纤可以高效激发微球腔回廊模式,对微球腔的应用以及双锥光纤在光传感应用方面具有指导意义。
- 李杰吉喆严英占刘正刘俊闫树斌
- 关键词：双锥光纤
- 一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备被引量：2
- 2011年
- 根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层硅而成,矩形槽通过RIE刻蚀衬底硅而成。光波导两侧的矩形凹槽可方便光纤接入以及对出射光的探测,从而提高了光波导微腔耦合系统的稳定性。
- 李鹏张宇光王丽刘正严英占仝晓刚薛晨阳闫树斌
- 关键词：ICPRIE
