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谌福华

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇速度传感器
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇封装
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS加速...
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇王明伟
  • 1篇谌福华

传媒

  • 1篇电子技术与软...

年份

  • 1篇2017
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封装对高量程MEMS加速度传感器性能的影响被引量：3
2017年
高g值加速度传感器可用于钻地武器,通常以每秒几千英尺的速度钻入地面、混凝土、岩石或其他的坚硬物质,所用的加速度传感器既要抗击如此苛刻的工作环境,又有快速响应冲击与钻入的整个过程。因此,钻到武器用加速度传感器要有很宽的测量范围、耐受高冲击且频率响应高。高量程MEMS加速度传感器是测量高冲击过程的核心器件。本文对一种梁膜结构压阻式MEMS加速度传感器的封装进行了系统研究,讨论了使用不同材料管壳封装后,对器件性能的影响。
谌福华高智浩王明伟
关键词：封装传感器
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