王坤博
- 作品数：7 被引量：13H指数：2
- 供职机构：北京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- ICP刻蚀硅形貌控制研究被引量：11
- 2011年
- 硅的刻蚀形貌控制是MEMS器件加工中的关键技术之一,形貌控制是硅表面刻蚀和钝化反应取得平衡的结果,任何影响刻蚀和钝化反应的因素都会影响到刻蚀形貌。采用中科院微电子研发中心研制的基于化学平衡原理的ICP-98A等离子刻蚀机,对ICP刻蚀当中影响形貌的关键工艺参数进行了研究和分析,研究了源功率RF1、射频功率RF2及气体(SF6和C4F8)比例对刻蚀形貌的影响,分析了bow ing现象产生机制,并给出了降低这种现象的工艺方法。该研究对提高硅的ICP刻蚀形貌控制具有重要的指导意义。
- 刘欢周震刘惠兰冯丽爽王坤博
- 关键词：ICP刻蚀硅形貌控制工艺参数
- 一种光纤传感用同轴封装光收发一体模块
- 本发明公开了一种光纤传感用同轴封装光收发一体模块，包括TO封装光源，用于向光耦合传输器件提供光源；光耦合传输器件，用于将TO封装光源输出的光传输到光纤上，以及将光纤返回的光反射到TO封装PIN-TIA探测器的PIN光敏面...
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- 文献传递
- 基于谐振腔内调制的谐振式光学陀螺
- 本发明公开了一种基于谐振腔内调制的谐振式光学陀螺，包括光源、隔离器、耦合器C<Sub>0</Sub>、耦合器C<Sub>1</Sub>、耦合器C<Sub>2</Sub>、无源Y分支耦合器、谐振腔、调制器、第一探测器、第二...
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- 新型混合式集成光学陀螺系统(英文)
- 2014年
- 提出了一种混合式集成光学陀螺系统结构。所有的无源光学器件在单一硅片上进行加工。光源和探测器等有源器件通过倒装焊的工艺进行键合。此种结构的主要优势是去除了外部的调制器,将陀螺系统的集成化提高到一个新水平。详细阐述了混合式集成光学陀螺的调制解调技术。系统的频率调节通过在激光器的输入电流上加载高频方波来实现。当陀螺旋转时,谐振腔内传输的两路光分离,输出呈方波形式,通过检测方波信号可以得到角速度的值。该研究对集成光学陀螺系统的研究有较大贡献。
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- 关键词：电流调制
- 聚合物脊形波导的单模结构设计及模场分析
- 脊形波导是构成多种光电器件的基本结构，利用有效折射率法对聚合物电光调制器的脊形波导的单模传输条件进行分析，确定了其结构参数。并基于有限差分光束传输法(FD-BPM)模拟分析了该聚合物脊形波导的横向模场分布，以及传输模式随...
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- 关键词：脊形波导单模传输模场分布
- 基于谐振腔内调制的谐振式光学陀螺
- 本发明公开了一种基于谐振腔内调制的谐振式光学陀螺，包括光源、隔离器、耦合器C<Sub>0</Sub>、耦合器C<Sub>1</Sub>、耦合器C<Sub>2</Sub>、无源Y分支耦合器、谐振腔、调制器、第一探测器、第二...
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- 文献传递
- 亚微米硅基波导光学相位调制器的优化分析被引量：2
- 2012年
- 建立了基于注入式PIN结构的亚微米硅基波导光学相位调制器模型,对该调制器模型的光学特性和电学特性进行了理论分析和仿真,确定了器件的单偏振单模条件。在此条件下,重点分析并讨论了在不同结构参数与掺杂条件下器件调制效率的变化特性。结果表明,通过减小外脊高、增大掺杂浓度、减小波导区到掺杂区的距离、增大掺杂深度等均可有效提高器件的调制效率。在此基础上确定了器件的最优结构参数,结果表明其相位调制效率可达到19rad·V-1·mm-1,3dB带宽大于1GHz,同时该调制器还具有结构紧凑、工作电压低、易于集成的优点。
- 董正芳周震王坤博冯丽爽
- 关键词：光学器件绝缘体上硅PIN结构
