李春光
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 基于集成电路制造装备仿真平台的测试系统设计
- 2013年
- 基于测试集成电路制造装备仿真平台软件仿真功能的正确性、稳定性和可靠性,开发一种可用于测试仿真设备功能的软件系统。该系统采用分层的架构设计方法,提供测试信息的静态配置和动态运行两种工作模式,有效地解决了不同设备测试任务多样化的问题。该软件架构具有一定的通用性和易扩展性,可作为多任务复杂测试系统的一种通用架构。同时还设计了单命令测试、多命令随机测试、多命令逻辑测试3种类型的测试方法,以提高测试灵活性。运用多线程技术,做合理的线程优化处理,解决了系统运行效率低和通信混淆问题。
- 李春光黄利平田凌许霞
- 关键词：测试系统软件架构多线程集成电路
- 中心组合设计法在静电吸盘绝缘层结构优化中的应用被引量：4
- 2014年
- 为研究等离子体刻蚀中静电吸盘绝缘层结构对晶圆温度分布均匀性影响,建立了晶圆与静电吸盘三维传热模型,采用中心组合设计方法分析了晶圆半径、进气带半径、进气孔半径、槽道深度、粗糙度最大轮廓五个结构变量对均匀性的影响,得到结构变量与均匀性的二次响应面方程。采用自适应进化算法对响应面方程优化,结果表明进气孔半径、槽道深度、粗糙度最大轮廓是最显著影响因素,响应面计算结果与仿真结果一致,该方法可用于静电吸盘的设计研发。
- 李春光黄利平田凌张泽明
- 关键词：结构优化
- 面向IC装备功能仿真平台的多模式测试方法
- 2012年
- 为了实现全面对IC装备以及装备功能仿真平台进行功能测试,通过分析装备命令响应特点,提出了包含单指令测试、逻辑指令序列测试以及随机指令序列测试的多模式测试方法;单指令测试验证设备以及由相关设备组成的系统的单指令响应正确性;逻辑指令序列从控制系统角度验证设备或系统的连续动态运行性能;随机指令序列测试验证设备或系统的动态随机响应性能;实际应用表明,提出的测试方法可以满足IC装备功能仿真平台的测试需求。
- 许霞冯涓黄利平田凌李春光
