巴静
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金浙江省自然科学基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>
- 基于PVDF的光刻机流场压力检测方法的研究
- 浸没式光刻技术通过在最后一级投影物镜与硅片之间填充高折射率的液体来提高系统的分辨率,使得光学光刻的最小线宽延伸至45nm以下,并且它对传统的光刻设备及工艺改动较小,很大程度上节省了实现该技术的时间和成本,成为目前最先进的...
- 巴静
- 关键词：压力传感器PVDF
- 文献传递
- 一种支持时间敏感网络功能的安全分布式控制系统
- 本发明公开了一种支持时间敏感网络功能的安全分布式控制系统，包括：分布式控制模块，位于安全分布式控制系统的底层，用于采集工业现场状态数据，接收现场控制数据；集中控制模块，位于安全分布式控制系统的顶层，用于接收所述分布式控制...
- 巴静王文海李新玲徐斌马聪威
- 文献传递
- 一种安全冗余的PLC通信控制系统
- 本发明公开了一种安全冗余的PLC通信控制系统，包括：冗余PLC通信端口、安全过滤模块、冗余模块、通信模块、安全隔离模块和控制模块。安全过滤模块用于数据监测、过滤和告警；冗余模块用于对命中预设流量类型的数据帧进行复制、消除...
- 巴静王文海李新玲徐斌马聪威
- 文献传递
- 基于PVDF薄膜的流场动态压力检测方法的研究被引量：1
- 2011年
- 针对检测狭小空间流场压力时,通用液体压力传感器存在体积大、频响低以及干扰流场等问题,提出一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的流场动态压力检测方法,该方法采用光刻工艺直接在敷镀有金属铝电极的PVDF薄膜上制作压力传感元件,该元件具有面积小、厚度薄、柔韧性好的特点,非常适合于狭小流场空间壁面压力分布的测量。试验研究表明:该方法特别适用于检测流场微小的压力波动,线性度误差为±2.3%,输出灵敏度为1.32mV/Pa。
- 阮晓东巴静陈晖陈文昱傅新
- 关键词：光刻工艺
- 一种支持时间敏感网络功能的安全分布式控制系统
- 本发明公开了一种支持时间敏感网络功能的安全分布式控制系统，包括：分布式控制模块，位于安全分布式控制系统的底层，用于采集工业现场状态数据，接收现场控制数据；集中控制模块，位于安全分布式控制系统的顶层，用于接收所述分布式控制...
- 巴静王文海李新玲徐斌马聪威
- 一种安全冗余的PLC通信控制系统
- 本发明公开了一种安全冗余的PLC通信控制系统，包括：冗余PLC通信端口、安全过滤模块、冗余模块、通信模块、安全隔离模块和控制模块。安全过滤模块用于数据监测、过滤和告警；冗余模块用于对命中预设流量类型的数据帧进行复制、消除...
- 巴静王文海李新玲徐斌马聪威
