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周强

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河北工业大学电气信息学院更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电化学
  • 1篇电化学氧化
  • 1篇电极
  • 1篇氧化液
  • 1篇有机物
  • 1篇清洗方法
  • 1篇膜电极
  • 1篇金刚石膜电极
  • 1篇化学氧化
  • 1篇BDD

机构

  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇刘效岩
  • 1篇刘玉岭
  • 1篇高宝红
  • 1篇周强

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
BDD电化学结合表面活性剂的新型清洗方法
2010年
提出了一种新型抛光后的清洗方法,采用掺硼金刚石膜作阳极的电化学方法制备出氧化液,用其去除表面有机污染物,同时配合使用非离子表面活性剂去除表面固体颗粒。用金刚石膜电化学制备出氧化液,克服了单纯电化学氧化生成的强氧化性羟基自由基不稳定和寿命短等缺点,实现氧化能力持久保持。表面活性剂能有效地去除表面颗粒,清洗后Si片上会有残留物,氧化液可以将残留物去除。通过实验对比发现,这种新颖的清洗方法在颗粒和有机物去除上有很好的清洗效果,能够满足微电子工艺的发展需求。
周强刘玉岭高宝红刘效岩
关键词：金刚石膜电极电化学氧化氧化液有机物
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