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高敏: 作品数：14 被引量：9H指数：2; 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划教育部科学技术研究重点项目更多>>; 相关领域：理学一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>

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高分子辅助沉积法(PAD)制备LaBaCo_2O_(5+δ)薄膜的研究被引量：1: 2014年; 用高分子辅助沉积法在Si（001）基底上以SiO2为缓冲层成功地制备出LaBaCo2O5＋δ（LBCO）薄膜。X射线衍射谱证明了LBCO/Si（001）薄膜是（111）择优取向的单相赝立方结构。从LBCO薄膜样品的SEM照片可以看出,LBCO薄膜的晶粒大小并不均匀,其大的晶粒尺寸为1-2μm,小的晶粒尺寸为0.1-0.2μm;同时,可以明显观察到一些小的空隙,这些空隙有利于氧气的吸附及扩散。在LBCO薄膜的电阻（R）-温度（t）曲线测试中,电阻随温度的升高先急剧下降后缓慢下降,表明LBCO薄膜具有典型的半导体材料性质。LBCO薄膜在纯氧和空气中电阻的最低值分别为36Ω和382Ω,前者为后者的1/10,说明LBCO薄膜对氧气具有敏感性。; 洪敦华高敏潘泰松张胤林媛; 关键词：钙钛矿 X射线衍射表面形貌电输运性质

LaBaCo_2O_(5+δ)薄膜的电输运及氧敏性质研究: 2014年; 采用高分子辅助沉积法制备了Si基La BaCo2O5+δ(LBCO)薄膜,主要研究了Si基LBCO薄膜的电输运性质及氧敏性质。通过对LBCO薄膜的电输运性质研究,发现LaBaCo2O5+δ薄膜的激活能Ea为0.32 e V,远小于同类体材料PrBaCo2O5+δ激活能(Ea=0.67 e V),说明将材料薄膜化以后,有利于降低材料的激活能;此外,LBCO薄膜阻-温曲线满足小极化子热激化跳跃理论,证明该材料的导电机制是小极化子电子电导。氧敏性质研究发现,在较低的温度356℃下,当测试气体从氢气切换到氧气时,薄膜电阻从3×105Ω迅速下降到4.5×102Ω(ΔR≈3.0×105Ω),响应时间为4.2 s,说明在较低温度下,LBCO薄膜对氧气具有较高的敏感度。同时,发现LBCO薄膜材料导电能力并不与氧气的浓度成正比。; 洪敦华高敏黄振龙张胤林媛; 关键词：电输运性质

金属铝板弯折形变积累的超声兰姆波无损检测: 2015年; 材料结构中疲劳微裂纹的产生和扩展是影响其寿命的重要因素,在疲劳裂纹产生初期就将其检测出来对于提高结构安全性至关重要。利用兰姆波探索了铝板反复弯折时判定材料疲劳积累到最终塑性形变断裂失效的方法。试验通过分析兰姆波各模式的频散曲线、振幅曲线和对比理论与实际的波包群速度,选定了在最佳激励频率下判定疲劳损伤积累的特征信号。还通过快速傅里叶变换分析频域的能量分布来判定疲劳累积。试验结果表明:在试样从弯折塑性形变积累到出现微裂纹的过程中,A0波包振幅有小幅度的减小,而在材料断裂失效前,该振幅幅度会急剧减小。; 李仕俊廖非易高敏张胤林媛; 关键词：兰姆波频散曲线傅里叶变换超声

基于容性电极的多通道皮层脑电采集系统: 2018年; 初级视皮层ECo G信号利用植入的容性阵列微电极耦合大鼠皮层进行脑电信号采集,为了设计一款针对容性阵列微电极特性的皮层脑电采集系统,在模拟放大电路模块前端需要选择适配容性电极的前置阻抗变换模块。脑电信号经过模拟放大和A/D高速转换后在主控芯片中进行第一次梳状滤波处理,最后将数据传输到上位机中进行第二次梳状滤波处理并显示实时波形。该采集系统具有对大鼠刺激小、采集信号空间分辨率高的特性,可实现多通道并行高精度采集。该系统共模抑制比达到110 d B,噪声低至2μV。生物实验证明其能够完整提取皮层脑电信号。; 黄龙颜卓程薛苗苗夏阳高敏林媛刘铁军; 关键词：皮层脑电多通道阻抗变换空间分辨率

3ω法测量钛酸钡薄膜的热导率被引量：2: 2016年; 电子设备小型化带来的热效应问题,使得提高薄膜材料热导率和降低薄膜与基底的界面热阻成为提高薄膜器件可靠性的关键因素,因此测量薄膜器件热性能成为了电子工业中愈发重要的课题。钙钛矿结构的钛酸钡作为一种高介电常数材料,在电子工业中被广泛使用。通过建立一套3ω法测试系统,测试了使用高分子辅助沉积法在SiO_2薄膜上沉积的钛酸钡薄膜样品的热导率,并通过不同厚度薄膜热阻与热导率的关系,计算出钛酸钡薄膜的热导率为5.63 W/mK,钛酸钡与SiO_2的界面热阻为2.13×10^(-8)m^2W/K。; 何龙姚光潘泰松高敏林媛; 关键词：钛酸钡热导率界面热阻

柔性大变形环境下VO2薄膜相变特性研究: 二氧化钒是一种性能优良的强关联氧化物材料,由于其在68℃附近发生金属-绝缘体相变,导致光、电、磁性能的突变,使其潜在应用于电子开关器件及存储器件.本文利用高分子辅助沉积法在SiO2/Si衬底上生长了高质量的二氧化钒薄膜,...; 林媛梁伟正黄振龙高敏张胤

高分子辅助沉积法在镍基片上制备的钛酸钡薄膜的漏电机制: 2014年; 采用高分子辅助沉积法在多晶镍衬底上,以氧化镍作为缓冲层,生长了多晶钛酸钡(BaTiO3,BTO)薄膜。对其漏电特性测试及分析发现,在测试电压区间和极性不同时,分别具有不同的漏电机制,可分别用Frankel-Pool emission,space charge limited current(SCLC)与Schottky emission等机制来描述。由于界面缓冲层分解以及界面扩散等原因,BTO/Ni界面呈现Ohmic接触,而Au/BTO界面呈现Schottky势垒接触。通过测量不同温度下的漏电流大小,得到Au/BTO界面的有效势垒为0.32eV,从而得到Au/BTO/Ni能带结构图。利用一阶线性电路模型对其界面电阻与体电阻进行计算,得到的界面电阻与体电阻大小及变化趋势与实验及理论相符合。; 李洋高敏杜辉张胤林媛

氧化物功能薄膜器件的柔性化策略被引量：2: 2020年; 以可延展和可弯曲为特点的柔性电子器件因其在信息、医疗、能源等领域的巨大前景而受到众多研究者的广泛关注,成为近年来的研究热点。氧化物功能薄膜材料由于其丰富的电学/磁学/光学等性能及独特的多场耦合特性,成为物理学和材料学的重要研究对象,并被应用于各种电学/光学器件中。随着器件越来越多地应用于各种复杂曲面环境以及与人体或人体组织密切贴合,对氧化物薄膜器件可延展和可弯曲等柔性化的需求日益迫切。由于高质量氧化物薄膜的生长需要较高的温度,且对生长基底和薄膜之间的界面控制要求较高,因此,氧化物薄膜与可延展柔性基底的集成存在很大的挑战。将氧化物薄膜直接沉积在柔性金属箔片或高分子基底上,需要克服金属基底与薄膜界面控制困难或高分子基底对生长温度的耐受性差等困难。在刚性基底上沉积功能氧化物薄膜后,通过剥离、转印到可延展柔性基底上是一种解决方案。但其中的挑战在于如何可控地将薄膜完整地从生长基底剥离。针对这一挑战,发展了通过化学刻蚀牺牲层的化学转印技术和通过范德瓦尔斯外延或激光剥离的物理剥离方法。本文综述了近年来发展的氧化物薄膜器件柔性化的若干进展,归纳了以上几种主要的柔性化策略,包括在金属基底、高分子基底等柔性基底上直接生长和通过化学刻蚀和物理剥离转印等技术实现的柔性化,分析了几种柔性化策略的优势和局限性,总结了柔性氧化物薄膜器件制备中的挑战和机遇。; 王倩高能张天垚姚光潘泰松高敏林媛; 关键词：金属氧化物

氧化物功能薄膜材料在柔性传感器件中的应用: 2018年; 柔性传感器件因其在医疗健康、人机交互等应用中的巨大前景,受到了广泛关注,也是近年来的研究热点.作为无机功能材料中的一类重要材料,氧化物功能薄膜因其具有丰富的电子学、光学、热学、力学、磁学等方面性质已经在各种电子和光电子器件中得到了广泛的应用.将氧化物功能薄膜应用于柔性传感器件,有望进一步提高柔性传感器件的性能,并为新型柔性传感器件的设计提供材料保障.本文分析了目前氧化物功能薄膜在柔性传感器件中应用所面临的重点科学技术问题,并介绍了近年来在基于氧化物功能薄膜的柔性传感器件所涉及的关键技术和器件应用上的研究进展.; 潘泰松廖非易姚光王宇轩高敏林媛; 关键词：无机功能材料氧化物功能薄膜传感器件

化学计量比对BaTiO_3/Ni集成结构性能的影响: 2015年; 该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积(PAD)法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡(BaTiO3)薄膜,并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明,钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛相,适宜浓度的钛过量可以降低BaTiO3/Ni集成结构1个数量级的漏电流密度,减少介电损耗约50%,并能有效提高集成结构的介电常数。对BaTiO3薄膜的漏电流导电机制进行了分析,并对钛过量影响集成结构的漏电特性和介电性能的原因进行了讨论。; 杜辉李洋梁伟正高敏张胤林媛; 关键词：钛酸钡介电性能漏电流

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