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郭灿

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：陕西省科学技术研究发展计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇压力传感器
  • 3篇谐振式压力传...
  • 3篇力传感器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇氮化
  • 2篇谐振
  • 2篇MEMS
  • 1篇氮化硅
  • 1篇氮化钛
  • 1篇电阻
  • 1篇有限元
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微结构
  • 1篇谐振梁
  • 1篇谐振式
  • 1篇口形
  • 1篇机电系统
  • 1篇固有谐振频率

机构

  • 3篇西安交通大学

作者

  • 3篇郭灿
  • 2篇杨川

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 2篇2010
  • 1篇2009
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
MEMS氮化硅谐振式压力传感器研究
郭灿
关键词：谐振式压力传感器MEMS有限元氮化硅
微结构谐振梁压力传感器
微结构谐振梁压力传感器，包括键合而成的上硅片和下硅片，上硅片包括一个矩形框架以及开设在矩形框架内的对称的两个半岛，由氮化钛制成的并排设置的两组谐振梁的两端分别与两个半岛相连接，在各谐振梁上分别设置有与引线及电极相连的激振...
杨川郭灿
文献传递
MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究被引量：3
2010年
提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器,利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型,通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟,得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数,并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的结构设计具有重要的指导意义。
杨川郭灿
关键词：微机电系统氮化钛谐振式压力传感器
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