范生强
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
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- BST铁电薄膜红外探测器阵列的制备工艺及其电学性能
- 铁电薄膜及其集成器件是当前材料科学和微电子领域的研究热点。本文以研发铁电薄膜红外探测器阵列为目标,利用磁控溅射法制备了BST铁电薄膜,研究了金属电极和BST薄膜的微加工工艺,并对探测器阵列的结构和各层光刻掩模版图进行了设...
- 范生强
- 关键词：BST薄膜射频磁控溅射
- 文献传递
- BST薄膜的湿法化学刻蚀工艺优化及应用初探
- 2010年
- 采用sol-gel法在SiO2/Si衬底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜.利用湿法化学刻蚀技术对BST薄膜进行图形化.通过实验结果对比,选择HF/HNO3/H2O2/H2O(体积比为1∶20∶50∶20)的混合液作为最佳刻蚀液.扫描电镜(SEM)结果表明,刻蚀后BST薄膜表面干净,无残留物,图形轮廓清晰.原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)结果显示,刻蚀后BST薄膜表面粗糙度增大,结晶性退化.对刻蚀后的薄膜在600℃后退火处理,能要在一定程度上恢复其表面形貌和结晶性.应用优化工艺制备BST薄膜阵列,采用剥离法将Au,Ni/Cr和Pt/Ti电极进行微图形化.最后,成功地制备了Au/Ni/Cr/BST/Pt/Ti/SiO2/Si结构的8×8元的红外探测器阵列.
- 黄鹤章天金潘瑞琨陈仁范生强
- 关键词：钛酸锶钡湿法化学刻蚀溶胶凝胶法
