胥晓
- 作品数：4 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中南大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种平面型磁浮直线运动平台
- 本发明公开了一种具有两维较大行程的平面型磁浮直线运动平台装置。该装置的每个电磁轴承由两个差动式驱动电磁铁组成，控制线圈中电流可使磁悬浮工作平台在电磁力作用下稳定悬浮，与支承座及直线驱动系统间无机械接触；平台与直线电机驱动...
- 李群明韩雷邓华张世伟胥晓陈启会
- 文献传递
- 平面型磁悬浮平台的结构与分散控制被引量：5
- 2013年
- 针对微电子加工等超精密制造领域高精度和超洁净等要求,提出了一种平面型磁悬浮平台。介绍了平台的结构及工作原理,通过电磁力的优化计算得到系统的等效质量,建立了系统分散控制的动态等效单自由度模型。讨论了系统刚度阻尼和控制系统之间的关系,在此基础上确定了各控制参数随平台运动位置的函数关系。最后给出了平台的悬浮波形,仿真结果表明,在动态控制参数下,系统超调量更小;实验结果表明,系统动态响应快,具有良好的悬浮性能,鲁棒性强。
- 陈启会李群明胥晓
- 关键词：平面型磁悬浮分散控制
- 引线键合线弧成形规律及其实验平台运动控制研究
- 近年来，随着IC制造业的快速发展，对芯片封装技术有了更高的要求。而引线键合正向着高密度、高速度、高可靠性方向发展，这对引线键合设备和键合工艺都提出了更高的要求。 本文以引线键合线弧成形过程为研究对象，分析了线弧成形过程...
- 胥晓
- 关键词：芯片封装引线键合运动控制
- 一种平面型磁浮直线运动平台
- 本发明公开了一种具有两维较大行程的平面型磁浮直线运动平台装置。该装置的每个电磁轴承由两个差动式驱动电磁铁组成，控制线圈中电流可使磁浮直线运动平台的磁浮工作台在电磁力作用下稳定悬浮，与支座及直线驱动系统间无机械接触；磁浮工...
- 李群明韩雷邓华张世伟胥晓陈启会
- 文献传递
