吴占玲
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金高等学校科技创新工程重大项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 磁控溅射Al-Mg-B薄膜成分优化被引量：5
- 2011年
- 采用多靶磁控共溅射技术,利用高纯度Al,Mg和B单质靶材为溅射源,室温下在单晶Si(100)表面上成功制备了低摩擦系数的非晶态Al-Mg-B硬质薄膜.通过改变Al/Mg混合靶体积配比及靶材溅射功率来调控薄膜成分,最终制备的Al-Mg-B薄膜成分接近AlMgB_(14)相的元素成分比,其Vickers硬度约为32 GPa.XRD及HR-TEM分析表明.制备的薄膜均为非晶态XPS测试表明薄膜内部存在B-B及Al-B单键;FTIR进一步测试表明,在波数1100 cm^(-1)处出现较为明显的振动吸收峰,证明制备的薄膜中含有B_(12)二十面体结构,这也是薄膜具有超硬性的主要原因.薄膜摩擦磨损测试表明薄膜摩擦系数在0.07左右.
- 曲文超吴爱民吴占玲白亦真姜辛
- 关键词：磁控溅射
- 用不同靶材制备B-C-N薄膜及其红外表征
- 2010年
- 采用射频磁控溅射方法,分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶,在氩气和氮气的氛围中,沉积B-C-N薄膜.傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明:在1200～1800cm-1和1000～1750cm-1处出现了较宽的吸收峰;在2200cm-1处出现了CN键的特征吸收峰.表明在沉积的薄膜中,C原子与N原子相结合.分别溅射C和h-BN靶,红外光谱分析表明,B—C键在1100cm-1处未产生吸收峰,即利用h-BN和C靶沉积的B-C-N薄膜倾向于相分离,利用B和C靶沉积的B-C-N薄膜中的原子实现了原子量级的化合.
- 王健白亦真张东潘丽柳浩管昌雨吴占玲赵纪军
- 关键词：傅里叶变换红外光谱射频磁控溅射
- 磁控溅射法制备的Al-Mg-B薄膜的研究
- 铝镁硼（AlMgB14）作为一种新型超硬纳米材料,以其优异的机械、热学和电学性能有着广泛的应用前景。铝镁硼（Al-Mg-B）薄膜的元素成分、表面形貌、内部结构等对其机械、热学和电学性能的影响十分明显。因此研究沉积参数和掺...
- 吴占玲
- 关键词：射频磁控溅射电子探针傅里叶红外光谱纳米压痕
- 文献传递
