何明轩
- 作品数：10 被引量：13H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金国家质检公益性行业科研专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
- 一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法
- <B>一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单...
- 汪红何明轩李源凌行卢歆丁桂甫
- 用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法
- 一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极...
- 汪红何明轩刘瑞鸿冯建智陈欣丁桂甫赵小林
- 文献传递
- 用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法
- <B>一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可...
- 汪红何明轩刘瑞鸿冯建智陈欣丁桂甫赵小林
- MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准被引量：7
- 2013年
- 由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。
- 吴俊杰李源李东升卢歆何明轩
- 关键词：微机电系统校准装置纳米测量机
- 一种用于微纳米测量的微可变电容的制备方法
- 一种用于微纳米测量的微可变电容的制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出...
- 汪红何明轩李源凌行卢歆丁桂甫
- 文献传递
- 一种微机械电容式双向开关
- 一种微机械电容式双向开关，包括一个上电极和两个下电极，长横梁和短竖梁交叉形成“十”字型上电极，通过柱子和弹簧与两个下电极保持悬空，弹簧一端与上电极相连，另一端与焊盘相连，弹簧除了有柔性支撑的作用外，还有信号传输的作用。两...
- 汪红何明轩张颖杨卓青丁桂甫
- 文献传递
- 一种电可调式RLC串、并联MEMS谐振器
- 本发明公开一种电可调式RLC串、并联MEMS谐振器，包括：可变电阻，可变电感以及固定电容。可变电阻由多匝线圈组成，在每一个线圈都引出信号线，所述的可变电感采用螺旋形结构，螺旋结构采用矩形截面，每个螺旋单元分为两层，上层斜...
- 何明轩汪红刘瑞丁桂甫
- 文献传递
- 基于电容式传感测头的电容检测系统的设计被引量：5
- 2011年
- 针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求,尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理,研制了基于电容传感器的微触觉测头。测头的测量原理表明:微小电容检测电路是整个电容检测系统的关键部分。该微小电容检测电路选用电容/数字转换器(CDC)AD7747芯片,分别编写了单片机与该芯片的I2C通信程序和单片机与上位机间的串行通信程序,实现了微小电容的采集和处理,简单进行了电容式传感测头的轴向性能的测试实验。实验表明:电容式微触觉测头的分辨率为0.02μm,重复性较好,证实了此电容式微触觉测头的可行性。
- 卢歆何明轩李源傅云霞汪红
- 关键词：电容传感器串行通信
- 一种连续精确调整微型零件位置的装置
- 本实用新型公开一种连续精确调整微型零件位置的装置，包括微调架、位于所述微调架上方的进给底座、位于所述进给底座上的进给支架、位于所述进给支架前端的进给夹具以及位于所述进给夹具试样台上的挡板。其中：所述微调架可以在微米量级下...
- 戴旭涵黄奕汪红丁桂甫赵小林吴静何明轩
- 文献传递
- MEMS电容式微触觉测头设计、制备及性能测试研究
- 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,器件特征尺寸和与之关联的公差不断减小,通常在毫、微米量级,这就对微结构的高精度测量提出了更高的要求。微纳坐标测量机在微纳测量领域得到广泛的运用,微触觉测头是与微纳坐标测量机配合工作并...
- 何明轩
- 关键词：校准
- 文献传递
