田刚
- 作品数：2 被引量：21H指数：2
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 玻璃基底上双波段增透膜的设计与制备被引量：3
- 2009年
- 采用离子束辅助沉积技术，在K9玻璃基底上完成了双波段（0．43～0．9μm及1．54μm）增透膜的设计与制备，单面镀制该增透薄膜的实测光谱曲线表明：在0．43～0．9μm波长范围内，平均透射率大于94．6％，峰值透射率大于95．4％；在1．54μm波长处，透射率不低于93．5％．
- 杭凌侠田刚潘永强
- 关键词：光学薄膜双波段增透膜离子束辅助沉积
- 硒化锌基底2～16μm超宽带硬质红外增透膜的研制被引量：18
- 2010年
- 硒化锌材料具有较宽的透光区,使其在红外区有着广泛的应用,然而其作为基底,镀制超宽带增透膜却有相当大的难度,尤其是膜层强度问题。设计出了硒化锌基底上2～16μm的多层超宽带增透膜,并采用离子束辅助沉积工艺在硒化锌基底上进行了多次实验,并对所使用的氟化钇(YF_3)和硒化锌膜料进行了分析,发现YF_3在3400和1640 cm^(-1)两个波数处的吸收峰。通过将低折射率层改为氟化钡和氟化钇的组合层后,在硒化锌基底上成功镀制出了多层宽带增透膜并采用脉冲电弧离子镀技术在多层薄膜的表面镀制了一定厚度的类金刚石(DLC)薄膜,增强了膜层的强度。最终使硒化锌基底上镀制的超宽带增透膜在2～16μm范围内的平均透射比大于93%,峰值透射比大于97%,并且膜层的强度较好。
- 潘永强杭凌侠梁海锋田刚
- 关键词：光学薄膜离子束辅助沉积硒化锌类金刚石薄膜
