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张萍

作品数:2 被引量:2H指数:1
供职机构:中北大学信息与通信工程学院电子工程系更多>>
发文基金:山西高校科技研究开发项目国防科技重点实验室基金国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇动态补偿
  • 1篇动态校准
  • 1篇动态性能
  • 1篇探测器
  • 1篇热电堆
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械热电堆
  • 1篇温度传感器
  • 1篇校准
  • 1篇红外
  • 1篇红外探测
  • 1篇红外探测器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇中北大学

作者

  • 2篇周汉昌
  • 2篇郝晓剑
  • 2篇张萍

传媒

  • 1篇传感器世界
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 2篇2008
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
微机械热电堆红外探测器的设计被引量:2
2008年
阐述了微机械热电堆的设计原理、所用材料及主要结构,并研究了3×3阵列的微机械制造工艺,该热电堆结构支撑结构为氮化硅—氧化硅—氮化硅的复合介质膜。热电偶材料采用多晶硅和铝,热电偶采用并列排布的结构,对冷端覆盖了绝热层,用以提高热电堆的探测率。由于该制作工艺与标准IC工艺兼容,使得硅基热电堆红外探测器得到了越来越广泛的应用。
张萍周汉昌郝晓剑
关键词:热电堆红外微电子机械系统
温度传感器动态性能测试技术研究
2008年
针对温度传感器的动态性能研究问题,本文介绍了对瞬态表面温度传感器进行动态校准的系统的原理框图、组成装置以及实验结果,并探讨了动态补偿的方法。动态测试结果验证了方案的可行性,表明本系统稳定性好。测试结果对热电偶温度传感器的研究和应用具有一定的参考价值。
张萍周汉昌郝晓剑
关键词:温度传感器动态校准动态补偿
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