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薛雷

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：电子科技大学物理电子学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇射频放电
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇光谱
  • 1篇发射光谱
  • 1篇尘埃等离子体

机构

  • 1篇电子科技大学
  • 1篇中国核工业集...

作者

  • 1篇吴静
  • 1篇姚列明
  • 1篇薛雷

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体增强化学气相沉积中对尘埃颗粒诊断被引量：1
2013年
采用SiH4,C2H4和Ar在射频容性耦合柱状放电室中产生了尘埃颗粒,利用发射光谱测得射频尘埃等离子体放电室中的一些基本碎片的发射光谱,并给出了这些碎片的光发射强度随着实验条件变化的曲线。随着功率和气压的增加,碎片的光发射强度逐步增加,尤其是随功率增加得更快,这说明功率对硅烷和乙烯的离解作用明显。随着硅烷和乙烯流量的增加,碎片的光发射强度随之下降。利用朗缪尔探针的实验结果得出尘埃密度的变化趋势,给出了尘埃密度随射频功率变化的曲线,其结果与硅烷和乙烯的离解变化趋势基本吻合。
吴静姚列明薛雷
关键词：尘埃等离子体射频放电发射光谱
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