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周新

作品数:1 被引量:12H指数:1
供职机构:南昌大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金江西省教育厅科学技术研究项目更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇驱动方式
  • 1篇驱动器
  • 1篇驱动原理
  • 1篇微机械
  • 1篇微驱动
  • 1篇微驱动器

机构

  • 1篇南昌大学

作者

  • 1篇刘莹
  • 1篇胡敏
  • 1篇陈兵芽
  • 1篇刘晓阳
  • 1篇周新

传媒

  • 1篇江西科学

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
微驱动器及其驱动原理被引量:12
2006年
微机电系统(MEMS)是20世纪80年代在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术。其中,微驱动器是微机电系统的重要组成部分。主要介绍了电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金(SMA)驱动及热驱动等,介绍了它们各自的优缺点及其应用,对其应用前景进行了简要分析。
胡敏刘莹周新陈兵芽刘晓阳
关键词:微机械微驱动器驱动方式驱动原理
共1页<1>
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