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史秀峰

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：北京理工大学机电学院更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金国防基础科研计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇有限元
  • 1篇速度传感器
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS加速...
  • 1篇尺寸优化
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇李剑
  • 1篇李科杰
  • 1篇张振海
  • 1篇张亮
  • 1篇史秀峰
  • 1篇林然
  • 1篇侯帅
  • 1篇李治清
  • 1篇许涛

传媒

  • 1篇计算机测量与...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种高冲击MEMS加速度传感器的仿真与优化被引量：3
2015年
基于高冲击MEMS加速度传感器的冲击灵敏度、频率响应与敏感芯片的结构尺寸存在相互制约关系,提出在满足传感器结构强度和固有频率条件下,提高传感器冲击灵敏度的理论分析、仿真模拟与实验验证的方法;运用ANSYS软件对敏感芯片的弹性膜片厚度与中心岛厚度进行多次设计与仿真,通过多组仿真数据对传感器的结构尺寸进行优化;高冲击实验验证表明,优化的传感器结构尺寸、性能指标能够满足设计要求,冲击灵敏度较高。
侯帅张振海林然张东红李科杰柳新宇张亮李治清李剑许涛何昫史秀峰
关键词：加速度传感器MEMS有限元尺寸优化
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