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刘冲

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：华侨大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇研磨盘
  • 4篇叶序
  • 2篇树脂
  • 2篇树脂基
  • 2篇图案
  • 2篇图元
  • 2篇微粉
  • 2篇金刚石
  • 2篇金刚石微粉
  • 2篇计算机
  • 2篇计算机计算
  • 2篇构造图
  • 2篇固结
  • 2篇刚石

机构

  • 5篇华侨大学

作者

  • 5篇刘冲
  • 4篇徐西鹏
  • 4篇方从富
  • 4篇胡中伟
  • 4篇赵再兴

年份

  • 2篇2018
  • 3篇2017
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种树脂固结金刚石微粉叶序研磨盘及制造方法
本发明涉及一种树脂固结金刚石微粉叶序研磨盘，所述研磨盘包括树脂基体层和至少部分形成柱状叶序结构的树脂‑金刚石微粉工作层，且柱状结构的叶序排列满足基于H.Vogel平面叶序模型的轨迹均匀性理论。本发明还提供了上述研磨盘的制...
方从富刘冲赵再兴胡中伟徐西鹏
文献传递
基于TPC模型的固结磨料工具优化及实验研究
近些年来，由于科学技术与信息通讯水平的不断提高，集成电路向着更高规模的集成以及高频率的方向发展，而作为集成电路的核心组成部分—半导体材料，在我国国际化竞争过程中起着极为关键的作用，而研磨抛光作为半导体加工工艺中的重要一环...
刘冲
关键词：研磨盘
文献传递
一种树脂固结金刚石微粉叶序研磨盘
本实用新型涉及一种树脂固结金刚石微粉叶序研磨盘，所述研磨盘包括树脂基体层和至少部分形成柱状叶序结构的树脂‑金刚石微粉工作层，且柱状结构的叶序排列满足基于H.Vogel平面叶序模型的轨迹均匀性理论，即满足θ＝86°×n、<...
方从富刘冲赵再兴胡中伟徐西鹏
文献传递
一种固结磨料叶序研磨盘的图案优选方法
本发明涉及一种固结磨料叶序研磨盘的图案优选方法，是先设置研磨盘直径、表面图案的叶序参数优选范围，构造图元类型并设置图元表面的磨粒分布密度，然后根据H.Vogel平面叶序模型生成叶序研磨盘图案的数字化模型以及磨粒位置信息矩...
方从富赵再兴刘冲胡中伟徐西鹏
文献传递
一种固结磨料叶序研磨盘的图案优选方法
本发明涉及一种固结磨料叶序研磨盘的图案优选方法，是先设置研磨盘直径、表面图案的叶序参数优选范围，构造图元类型并设置图元表面的磨粒分布密度，然后根据H.Vogel平面叶序模型生成叶序研磨盘图案的数字化模型以及磨粒位置信息矩...
方从富赵再兴刘冲胡中伟徐西鹏
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