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钱钧

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：西安应用光学研究所更多>>
发文基金：陕西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电介质
  • 1篇电流
  • 1篇扫描电镜
  • 1篇介质
  • 1篇二次电子

机构

  • 1篇西安理工大学
  • 1篇西安应用光学...
  • 1篇西安航空学院

作者

  • 1篇李维勤
  • 1篇郝杰
  • 1篇钱钧

传媒

  • 1篇电子学报

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性被引量：1
2015年
采用较为全面的考虑电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值模型,阐明了具有埋层结构电介质样品的扫描电镜检测机理及二次电子电流的动态特性.模拟结果表明,被沟槽界面俘获的电荷会影响空间电场分布,从而影响二次电子特性.随着电子束照射,样品表面沿着深度方向的电场强度增强,更多的二次电子返回表面,从而产生图像衬度.图像衬度随电子束能量的变化呈现极大值,而随电子束电流的增大而增大,模拟结果与实验结果基本一致.
郝杰李维勤钱钧
关键词：电介质扫描电镜
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