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胡永亮

作品数：2 被引量：9H指数：2
供职机构：浙江工业大学更多>>
发文基金：浙江省科技厅项目更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇抛光垫
  • 1篇平整度
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇工件
  • 1篇工件表面

机构

  • 2篇浙江工业大学
  • 1篇湖南大学

作者

  • 2篇袁巨龙
  • 2篇邓乾发
  • 2篇胡永亮
  • 1篇姚蔚峰
  • 1篇范红伟
  • 1篇刘盾

传媒

  • 2篇新技术新工艺

年份

  • 2篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究被引量：7
2010年
随着信息产业的迅速发展,对半导体器件、光学器件等的表面平整度提出了越来越高的要求。双面研磨/抛光技术是能使工件得到较高形状精度和表面精度的超精密加工主要方法。但是在双面研磨抛光加工中工件存在"塌边现象",这导致工件的表面平整度变差。本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。
胡永亮袁巨龙邓乾发
关键词：平整度
化学机械抛光垫沟槽形状的研究及展望被引量：2
2010年
在化学机械抛光过程中,沟槽形状是抛光垫性能的重要影响因素之一,它会直接影响抛光效果。本文介绍了化学机械抛光垫上沟槽的基本形状及其对抛光效果的影响,以及不同复合形状的抛光垫沟槽及其对抛光效果的影响,并就研究中现存的主要问题提出展望。
姚蔚峰邓乾发胡永亮范红伟刘盾袁巨龙
关键词：化学机械抛光抛光垫
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