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王卫民

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团更多>>
发文基金：辽宁省科技厅自然科学基金辽宁省教育厅自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇PE
  • 1篇N-

机构

  • 1篇辽宁大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇黄路秋
  • 1篇吴春瑜
  • 1篇陈东石
  • 1篇王卫民

传媒

  • 1篇辽宁大学学报...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
PERKIN-ELMER 340光刻机的匹配研究被引量：1
2005年
叙述了340光刻机发生畸变的原因,并解释了什么是交叉畸变,什么是扫描畸变,并对如何进行两台340光刻机的匹配进行了探讨.最后给出了试验数据.
吴春瑜黄路秋陈东石王卫民
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