杨延涛
- 作品数：1 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国人民解放军海军装备部更多>>
- 发文基金：北京航空航天大学青年创新基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 基于峰值检测的MEMS器件微弱电容检测电路(英文)被引量：5
- 2010年
- 针对MEMS器件研制中微弱信号的检测问题,提出了一种适用于电容式MEMS器件的微弱电容检测电路.此电路采用峰值检测技术,原理及结构简单;只检测待测电容的变化量,既可用于差分式检测,也可应用于单一待测电容的情况.首先利用正弦载波信号和微分电路对电容量进行载波调制,再通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号,最后采用峰值检测方法解调信号,得到直流量输出.利用微小可调电容进行标定,结果表明检测电路的线性度良好,灵敏度约为3.631V/pF,精度达到0.2%.利用该检测电路检测MEMS陀螺上振动频率为2.85kHz的梳齿驱动器的电容量变化,输出信号频率为(2.85±0.02)kHz,误差低于0.7%,说明该电路能够应用于MEMS器件的微弱电容检测.
- 郭占社冯舟杨延涛郑德智曹乐
- 关键词：MEMS器件
