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杜红艳

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：华北光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇锑化铟
  • 1篇退火
  • 1篇热退火
  • 1篇离子注入
  • 1篇快速热退火

机构

  • 1篇华北光电技术...

作者

  • 1篇赵建忠
  • 1篇杜红艳
  • 1篇李海燕

传媒

  • 1篇激光与红外

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
锑化铟离子注入退火技术研究被引量：2
2013年
对锑化铟(InSb)铍离子(Be+)注入后的快速退火技术进行了研究,并对不同退火温度和时间的晶片进行了工艺实验,通过测试其PN结I-V特性,对比了不同快速退火条件对PN结特性的影响,确定在一定快速热退火条件下可以获得高质量的PN结,并对试验结果进行了分析。
李海燕杜红艳赵建忠
关键词：锑化铟离子注入快速热退火
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