张程浩
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：北方工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程化学工程理学更多>>
- 硅基(001)取向Pb(Mn_(1/3)Nb_(2/3))O_3-Pb(Zr,Ti)O_3薄膜的制备及其铁电性能研究被引量：1
- 2016年
- 采用磁控溅射法在LaNiO_3/Si衬底上制备了6%Pb(Mn_(1/3)Nb_(2/3))O_3-94%Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3(PMnN-PZT)铁电薄膜,对其微结构和铁电特性进行了研究。结果表明,该铁电薄膜呈(001)高度择优取向,取向度高达98%。经过10^(10)次铁电循环测试,铁电薄膜无疲劳现象;在10~4s时间内,薄膜的铁电保持和印记特性稳定,无明显退化。该结果说明LaNiO_3氧化物电极会降低PMnN-PZT薄膜的氧空位浓度,有效地缓解了电荷注入的问题,因此改善了PMnN-PZT薄膜的铁电性能。
- 张程浩狄杰建谭培培李明勇赵全亮谭晓兰王大伟
- 关键词：铁电性能
- 压电微悬臂梁的制作及其基频的研究被引量：2
- 2017年
- 制作了PNZT薄膜驱动的压电微悬臂梁,将压电微悬臂梁的模型简化为压电层-结构层双层微悬臂梁模型,并使用理论计算和有限元仿真软件分析了双层微悬臂梁模型的基频,最后用激光多普勒测振仪对微悬臂梁结构进行了测试。结果表明,仿真、理论和实验测试结果在一定程度上符合得很好,为以后此类压电微悬臂梁的制作和基频的计算提供了参考。
- 张程浩陈若愚董世杰
- 关键词：基频
- 全差分三轴MEMS电容加速度计的设计被引量：1
- 2017年
- 采用刻蚀氧化硅牺牲层、沉淀多晶硅、再次刻蚀多晶硅的工艺,设计了基于单一敏感质量块的全差分三轴电容式加速度计。根据外界加速度激励对器件的不同位移作用,详细分析了三轴方向上加速度激励的交叉耦合影响。最后结合仿真结果得出:该器件具备结构简单紧凑、抗干扰能力强、灵敏度高、工艺简单等优点,在电子消费领域有很好的应用前景。
- 张程浩狄杰建刘昊陈若愚谭培培
- 一种MEMS加速度计的动力学特性测试研究
- 研究MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)器件的动力学特性对促进MEMS的产业化发展有重要的意义。本课题采用实验物理学的方法,设计和制作了一种电容式MEMS加速度计,搭建了 MEMS加...
- 张程浩
- 关键词：MEMS加速度计有限元仿真动力学特性
- 文献传递
