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王雨生
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
莱阳农学院信息科学与工程学院
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发文基金:
教育部科学技术研究重点项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
盖凌云
莱阳农学院
马瑾
山东大学物理学院
黄树来
莱阳农学院信息科学与工程学院
姜永超
莱阳农学院信息科学与工程学院
徐进栋
莱阳农学院信息科学与工程学院
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作者
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徐进栋
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黄树来
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马瑾
1篇
盖凌云
1篇
王雨生
传媒
1篇
功能材料
年份
1篇
2006
共
1
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退火处理对掺锑Zn-Sn-O薄膜的特性的影响
被引量:2
2006年
首次在低温下采用磁控射频溅射技术在玻璃衬底上制备出具有多晶结构的掺锑锌-锡-氧(Zn-Sn-O∶Sb)透明导电膜。研究了在通氧气氛制备薄膜的特性以及退火处理对制备薄膜结构和光电性能的影响。经真空退火后,氩氧混合气体溅射制备的Zn-Sn-O∶Sb透明导电膜的最小电阻率为4×10-2Ω.cm,相应载流子浓度和霍尔迁移率分别为2.1×1019cm-3,8cm2.V-1.s-1。薄膜的可见光平均透过率达到了92.4%。薄膜具有较高的热稳定性和化学稳定性,对玻璃衬底有良好的附着性。
黄树来
姜永超
盖凌云
徐进栋
王雨生
马瑾
关键词:
透明导电膜
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