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康新

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京航空航天大学航空宇航学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇三维形貌
  • 1篇手机
  • 1篇手机芯片
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇机芯
  • 1篇计量学
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇何小元
  • 1篇康新
  • 1篇刘雯雯
  • 1篇孙伟

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用
2009年
鉴于三维形貌在微机电系统(MEMS)测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用研究.基于小波变换极高的去噪性能及处理无载波条纹的优点,包裹相位采用连续小波变换的方法提取.基于展开相位拐点与符号歧义点的单应性,开展了通过检测展开相位拐点并对展开相位进行校正的方法恢复非单调条纹图的真实相位的研究.采用上述方法,成功测试了微梁的静、动态三维形貌及手机芯片的翘曲变形.该项研究为MEMS结构的三维形貌测试提供了高精度且简单快速的测量手段.
孙伟刘雯雯康新何小元
关键词：计量学微机电系统三维形貌手机芯片
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