刘晓莉
- 作品数：10 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 一种高可靠性大尺寸薄声表芯片倒装焊结构及制备方法
- 本发明公开了一种可靠性大尺寸薄声表芯片倒装焊结构及制备方法，包括基板和芯片，芯片通过倒装焊安装于基板上，在基板和芯片之间设有支撑结构，所述支撑结构预设于芯片工作面上。所述支撑结构为在芯片上通过光刻形成的PI膜柱。具体制备...
- 金中李华莉刘晓莉
- 文献传递
- 声表面波器件制作中的一种剥离技术被引量：2
- 2012年
- 介绍了一种适用于LiTaO3、LiNbO3基片的金属剥离工艺技术。该剥离技术利用碱性溶剂浸泡处理光刻胶,光刻胶顶层形成一层有利于剥离的突出遮蔽层。利用该技术可制作线宽小于0.5μm的SAW芯片。该技术无需额外设备,工艺稳定且成本低。
- 杨正兵冷俊林曾武刘晓莉朱明陈峻
- 关键词：声表面波表面处理
- 一种极窄带声表面波滤波器的设计技术被引量：1
- 2014年
- 该文介绍一种采用横向滤波器结构设计的极窄带声表面波滤波器的设计方法。通过优化抽指加权设计,衍射分析及修正,同时采取措施有效抑制波导效应,研制出极窄带宽、高矩形度、高带外抑制的声表面波滤波器。该产品的插入损耗约-21dB,1dB相对带宽约为1‰,带外抑制大于50dB,通带波纹0.3dB,产品综合性能指标优异。
- 蒋世义刘晓莉胡杨蒋欣董加和
- 关键词：声表面波滤波器
- 2 GHz宽带低损耗SAW滤波器的研制
- 2014年
- 利用射频电路模拟软件中构建的声表面波(SAW)低损耗滤波器设计工具,对S波段SAW滤波器的设计技术展开研究。通过建立集总参数模型,分析高频下封装效应对滤波器性能的影响,并成功研制出中心频率达2.2GHz,最小插入损耗为-3dB,相对带宽达到7%的SAW滤波器,测试与仿真结果基本一致。
- 蒋欣金剑冷俊林蒋世义董加和胡杨刘晓莉
- 关键词：S波段声表面波滤波器低损耗
- 高频声表面波器件用压电晶圆清洗技术研究
- 2013年
- 论述了低浓度碱性过氧化氢清洗液兆声清洗钽酸锂、铌酸锂和水晶等压电晶圆的工艺技术。在保持压电晶圆特性的前提下,该技术可有效去除晶圆表面小于0.2μm的附着颗粒,使其表面洁净度满足亚微米线宽高频声表面波(SAW)器件生产要求,同时降低了化学品、去离子水的消耗量及对环境的污染。
- 刘善群汤旭东喻卫兵陶玲伍平刘晓莉陆川赵雪梅
- 关键词：兆声清洗
- 声表面波器件镀膜工艺技术要求
- 本标准规定了声表面波器件镀金属膜工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及声表面波器件镀金属膜」_艺的典型工艺流程、各土序技术、检验等详细要求。本标准适用于军用声表面波器件的电子束蒸发和磁控溅射镀金属膜工艺...
- 李洪平吴琳张俊陈彦光刘洋刘晓莉许东辉陶毅米佳冷俊林
- 硅各向异性浅槽腐蚀实验研究被引量：3
- 2011年
- 通过实验分析,对比了异丙醇(IPA)和超声波对Si(100)面在KOH溶液和四甲基氢氧化氨(TMAH)溶液中的浅槽腐蚀速率及其表面形态的影响。实验结果表明,IPA能降低TMAH溶液的腐蚀速率,但IPA在KOH溶液中腐蚀速率降低不明显;IPA加入到较高浓度的KOH溶液中,会在Si表面产生较大小丘,恶化了Si腐蚀表面的质量,但在TMAH溶液中加入一定量的IPA会改善腐蚀表面的质量;超声波能加快腐蚀速率并能改善Si腐蚀表面质量,但对于加入IPA的较高浓度KOH溶液,超声波未能消除Si腐蚀表面的小丘,另外,超声波还能减弱腐蚀过程中微尺寸沟槽的尺寸效应;在腐蚀条件和配比一定情况下,TMAH溶液的腐蚀质量比KOH溶液好。
- 杨增涛冷俊林梅勇黄磊杨正兵李燕刘晓莉
- 关键词：各向异性腐蚀KOH
- 多层合金膜结构声表面波器件
- 本实用新型公开了一种多层合金膜结构声表面波器件，包括压电基片和制作在压电基片表面的叉指换能器，所述叉指换能器为三层结构，从下往上依次为打底层、中间层和表层，其中打底层为钛层，中间层为铜层或者金层，表层为AlCu合金层或者...
- 米佳刘晓莉朱勇赵雪梅李燕蒋欣焉秋娟陈湘渝张龙董加和王岚伍平
- 文献传递
- 晶圆探针测试系统校准
- 2013年
- 阐述了消除探针测试系统误差的方法,通过分析校准原理和计算校准模型,提出了把已知的校准位放在校准基片上,通过修改网络分析仪(VNA)的校准位和信号接收端口,利用探针台的移动和探针与校准位的接触提取和反馈信号,修正系统误差。
- 伍平董姝杜波冷俊林刘晓莉刘善群王岚
- 传统SAW离子束调频技术研究
- 2019年
- 制作传统声表面波(SAW)器件晶圆芯片表面的材料是Al,Al在空气中被氧化,极易生成致密的氧化铝(Al2O3)薄膜,由于Al2O3薄膜和Al及基底压电材料的刻蚀速率存在差异,会导致SAW的离子束调频过程复杂。该文介绍了一种用于SAW的离子束调频方法,采用该方法对制作的SAW器件进行离子束调频后,实现了目标频率的调高和调低,并进一步提高了频率集中度,从而解决了低频窄带SAW器件及2 GHz以上SAW高频器件频率精度难以提高的工艺难题。
- 伍平陈峻米佳董家和赵雪梅刘晓莉董姝黎亮
- 关键词：离子束刻蚀速率
