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钱俊
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
江南大学理学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张光春
江苏省尚德光伏技术研究院
李果华
江苏省尚德光伏技术研究院
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作者
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李果华
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钱俊
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张光春
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半导体技术
年份
1篇
2012
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晶体硅片上激光打孔的研究
被引量:2
2012年
背面接触太阳电池越来越多地被人们关注,这种电池增加了使用激光器在硅片上打孔工艺。选用了半导体激光器作为光源在晶体硅片上进行打孔实验。通过调节激光器的功率、离焦量、脉冲重复频率等参数并分析其对打孔的影响。在激光打孔后,对硅片使用显微镜测试来分析打孔大小、形貌和损伤区,并优化打孔的参数。通过实验证实孔的入孔直径和出孔直径都随激光能量的增大而增大。随着离焦量的增大,出孔直径先增大后减小,且出孔直径越大时孔附近的破坏区域越小。脉冲重复频率的变化由于影响激光能量而影响孔径。另外,脉冲重复频率过大时,激光能量仍然比较大,但却打不穿硅片。
钱俊
张光春
杨健
陈如龙
李果华
王玉林
关键词:
激光打孔
脉冲能量
离焦量
重复频率
太阳电池
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