邓建伟
- 作品数：1 被引量：6H指数：1
- 供职机构：武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 用于发动机活塞环表面涂层的CrN薄膜被引量：6
- 2010年
- 设计了一套电子源辅助中频孪生非平衡磁控溅射装置,在单晶硅、高速钢、硬质合金衬底上制备了CrN,研究了气体流量、衬底偏压、溅射功率对薄膜结构和性能的影响。X射线衍射表明,在N2/(N2+Ar)比例低于60%时,CrN薄膜呈明显的(200)结构,当N2/(N2+Ar)高于60%时,出现含Cr2N的多晶结构。沉积速率在8.5～12.5μm/h之间,显微硬度为10～18GPa。衬底偏压对沉积速率、薄膜结构和显微硬度都有重要影响。在较低偏压下得到的薄膜以CrN(200)为主;在较高偏压下出现(200)和(111)相。AFM和SEM测试表明,在较低偏压下沉积的样品呈纤维状微结构,在Vb>25V时,样品呈现柱状结构。CrN涂层的沉积速率和力学性能基本达到了发动机活塞环表面涂层的要求。
- 陈涛王泽松周霖邓建伟田灿鑫何俊刘传胜付德君
- 关键词：CRN中频磁控溅射活塞环
