曹昉
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 供职机构：景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：江西省科技厅青年科学基金江西省教育厅青年科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- 非水解溶 胶-凝胶法低温制备硅酸锆薄膜被引量：4
- 2015年
- 采用非水解溶胶-凝胶法于n型单晶硅基片表面制备出硅酸锆薄膜,并对其相组成及表面形貌进行了研究。运用XRD和FE-SEM研究了热处理温度、前驱体浓度和镀膜次数对硅酸锆合成及薄膜形貌的影响。结果表明:在矿化剂Li F引入的条件下,750℃时可以合成硅酸锆粉体,850℃时可以制备出致密光滑的硅酸锆薄膜。与粉体的合成相比,薄膜生长属于二维传质,矿化剂作用于薄膜制备时,反应活性效果减弱。在该温度下,前驱体浓度为0.7 mol·L-1时,通过两次镀膜可以获得表面光滑,致密无开裂的硅酸锆薄膜,而继续升高热处理温度则会导致晶粒长大,加剧二次再结晶作用,薄膜的致密性下降。
- 曹昉陈婷查剑锐江伟辉刘健敏吴倩
- 关键词：硅酸锆非水解溶胶-凝胶法致密
