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魏晓玮

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文基金：全球变化研究国家重大科学研究计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇超薄

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇李加东
  • 1篇吴东岷
  • 1篇苗斌
  • 1篇魏晓玮

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
耦合型超薄悬臂梁阵列释放工艺分析
2015年
针对耦合型超薄悬臂梁阵列释放过程中发生的粘附现象,采用背面湿法腐蚀的释放工艺,研究了液体表面张力对悬臂梁释放时的影响。通过改变悬臂梁释放时的液体环境和清洗方法,降低液体表面张力,避免悬臂梁的粘连,成功制备出长为220μm,宽为10μm,厚为220nm的超薄悬臂梁,成品率可达100%。
魏晓玮苗斌李加东吴东岷
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