范涛
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：佳木斯大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：黑龙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 亚单层铜薄膜生长的动力学蒙特卡罗模拟
- 2008年
- 建立了亚单层铜薄膜生长的三维模型,用动力学蒙特卡罗方法对亚单层铜薄膜的生长过程进行了模拟,研究了衬底温度和沉积速率对亚单层铜薄膜生长的影响,结果表明,随衬底温度升高和沉积速率降低,岛形状由离散型逐渐转变为紧致型,形成近四方形的岛,岛的平均尺寸急剧增大,岛的数目迅速减少,衬底温度达到一定值之后,岛的数目基本不变.
- 范涛于峰任广斌秦湘阁
- 关键词：扩散
