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艾波

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：峨嵋半导体材料厂更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇循环利用
  • 1篇四氯化硅
  • 1篇氯化
  • 1篇氯化硅

机构

  • 1篇峨嵋半导体材...

作者

  • 1篇丁国江
  • 1篇艾波
  • 1篇汪光裕

传媒

  • 1篇东方电气评论

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
四氯化硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用被引量：8
2008年
笔者之一曾在1982年发表《SiCl4氢化反应的探索》的热力学分析的文章,结合近期国内多晶硅产业蓬勃发展的新形势和对西门子法工艺主要副产物SiCl4有效利用的迫切需要,本文试图探索四氯化硅在西门子法多晶硅生产流程中循环利用的可能途径。
汪光裕丁国江艾波
关键词：四氯化硅循环利用
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共1页<1>
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